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플로린함유 다이아몬드유사탄소를 이용한 나노임프린트 박리제

전문가 제언: ○ 나노임프린트 리소그래피기술은 경제적이고도 효과적으로 나노 구조를 제작하는 기술로, 나노구조가 에칭된 몰드를 기판 상의 레지스터 표면에서 압인하여 나노구조를 전사하는 기술이다.

○ 열-나노임프린트 및 광-나노임프린트는 전사 시에 몰드가 전사재료에 직접 접촉하여 패턴을 형성한다. 이로 인해 임프린트 시의 전사재료의 부착 문제나 임프린트 후의 몰드와 전사재료와의 이형성(離型性)을 개선하기 위해 몰드 상에 박리제를 도포하여 임프린트를 시행한다. 나노임프린트 기술에서 박리제는 중요한 기술로서 양호한 이형성과 몇 번 전사해도 견딜 수 있는 내구성이 요구된다.

○ 나노임프린트 용 박리제로서 플로린의 자기조직화 단분자모노머(SAM)가 많이 이용되고 있으나 고압이나 열 나노임프린트 중에 높은 온도로 인해 열화될 가능성이 있다.

○ 본고는 이형성과 함께 고 내구성을 기대할 수 있는 새로운 박리제로서 플로린함유 다이아몬드유사카본의 사용을 제안하고 이 박리제에 대한 열 나노임프린트 이형 특성을 평가하고 양호한 나노임프린트 박리재료로서의 가능성을 제시한 것이다.

○ DLC에 플로린을 함유시키면 재료 경도가 높아지고 표면에너지가 낮아져 나노임프린트의 박리제로 적합할 것이라는 판단에 의해 개발된 것이다. DLC를 박리제로 사용하여 광 나노임프린트에 응용한 연구사례는 한국에서도 있었으나 필자들의 F-DLC코팅은 최초의 시도로 주장하고 있다.

○ 나노 임프린트 기술은 매우 간단하고 경제적인 공정으로 초정밀 패턴을 전사할 수 있는 매력적인 나노 가공기술로서 전자 정보 기기, 바이오의료기기를 비롯하여 많은 분야에 적용할 수 있는 현재 가장 주목받는 기술의 하나이다. 나노제품 제조 공정에 필요한 몰드의 이형성 연구에 좋은 참고자료가 될 것으로 사료된다.

저자: KEN-ICHIRO NAKAMATSU, SHINJI MATSUI
자료유형: 학술정보