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불소함유 나노임프린트 재료

전문가 제언: ○ 나노임프린트 리소그래피 기술은 경제적이고도 효과적으로 나노구조를 제작하는 기술로, 나노구조가 에칭 된 스탬프를 기재 상의 레지스트 표면에서 압인하여 나노구조를 전사하는 기술이다. UV-나노임프린트 기술은 가열-나노임프린트와는 달리 저점성 광경화성 수지와 이를 경화하기 위해 UV를 사용하는 것이 특징이다. 따라서 UV-NIL은 상온 저압공정이 가능하여 다층화 공정 및 대량생산에 적합하다는 장점을 갖고 있다.

○ UV 나노임프린트용 몰드는 일반적으로 석영유리 위에 패턴을 넣고 그 패턴 표면에 박리제를 도포한 것이 사용되지만 나노 수준의 전사는 박리제의 막 두께에 영향을 받으며 박리제의 도포공정 등의 과제를 해결해야 한다. 나노임프린트 기술을 이용하여 실제로 생산할 경우 중요한 기술요소 중 하나는 몰드의 이형이다. 이형을 잘 하기 위해서는 이형성이 좋은 재료를 몰드 측이나 피 가공기판 측에 설치해야 한다.

○ 불소수지는 표면에너지가 낮아서 이형성이 우수하고 광학용도에 적합한 고투명성과 저굴절률, 바이오 용도에 적합한 내약품성과 발수성 등이 있어 열 나노임프린트로 패턴을 형성할 수 있는 특성이 있다. 이에 따라 본고의 필자 등은 불소 수지층을 설치한 UV 나노임프린트용 불소수지몰드재료를 개발하여 그 결과를 보고한 것으로 우수한 이형성을 확인하였으며 부수적으로 고투명성과 저굴절률, 내약품성 등의 불소함유 재료의 특성을 살리는 응용재료 개발도 가능할 것으로 예상하고 있다.

○ 나노임프린트 기술은 매우 간단한 공정으로 초정밀 패턴을 전사할 수 있는 매력적인 나노 가공기술로서 전자정보기기, 바이오의료기기를 비롯하여 많은 분야에 적용할 있는 현재 가장 주목받는 기술의 하나다. 불소수지 이형제 개발은 처음 시도하는 기술로서 관련분야의 참조자료가 될 것으로 생각된다.

저자: YASUHIDE KAWAGUCHI
자료유형: 학술정보