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405nm 반도체 레이저를 사용한 프린트 배선판용 디지털 노광기

전문가 제언: ○ 노광기란 물체에 빛(광원)을 비추고 그 물체 뒷면에 어떤 형상이 나타나도록 하는 것으로, 그 빛이 일정시간 비추게 되면 빛의 세기가 대단히 크기 때문에 물체 뒤에 있는 철판이나 종이 등 편평한 표면에 그대로 형상이 나타나게 되는 것을 말한다. 물체의 형상이 몇 마이크로미터로 작아도 찍히는 물체에는 그의 형상이 모두 나타나게 된다.

○ 노광기의 종류로는 빛(光)의 종류에 따라 산란광 노광기, 수동 평형광 노광기, 반 평형광 노광기, 자외선 노광기 등이 있으며, 프린트 배선판 제조 계에서도 이러한 노광기를 사용하고 있다. 프린트 배선판 제조에 있어 최근 다이렉트 이메이징 노광법의 사용이 활발히 검토되고 있으며, 이의 일환으로 고속에 배선의 크기가 높은 정밀도를 갖고 또 대단히 미세한 노광방식인 고출력에 단파장 405nm 레이저모듈, 고감도 감광재료를 신규로 개발, 양산현장의 요구에 맞는 생산성을 실현한 디지털 노광시스템이 완성 되었다.

○ 개발된 디지털 노광시스템은 회로설계나 부품배치를 변화하지 않고 디지털 분할 얼라이먼트로 실현가능한 새로운 설계 툴을 사용함으로서 프린트 배선판 상의 금속배선 체의 라인 폭/스페이스 폭인 L/S를 35/35μm로, 배선판의 전면과 뒷면의 합치 정밀도가 ±15μm로 하는 아트 워크를 할 수 있어 라인직경이 작아지기 때문에 라인 사이의 스페이스를 얻을 있 수 있어 파인패턴(fine pattern)을 복수개 통과시킴으로서 6층 다층 배선판을 2층 양면 배선판으로 할 수 있게 되었다.

○ 모바일 기기는 휴대성 때문에 새로운 기능을 추가하여도 휴대전화를 크게 할 수 없어 실장밀도를 올려 공간여유를 만들어야만 한다. 그러므로 프린트 배선판의 고밀도화는 반드시 필요하다. 이런 필요성의 대응으로 디지털 노광기가 개발 되었으며, 디지털 노광기는 복수의 DMD(Digital Micromirror Device) 광학계를 탑재하는 510mm폭의 라인헤드를 말하며 이의 개발로 모바일 기기의 크기는 더욱 소형화 될 것이며 반면에 성능은 좋아질 것으로 기대된다.

저자: Atsushi SUGANUMA
자료유형: 학술정보