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화학증착 다이아몬드의 표면개질과 마찰특성

전문가 제언: ○ 박막 형성기술의 대표적인 것에 화학증착(CVD)과 물리증착(PVD)이 있다. 이 중에서 화학증착은 물리증착만큼 넓은 성막 범위를 가지고 있지는 못하지만 광파이버나 분말 제조에도 이용되는 등 공업제품이나 소재 및 부품에 널리 적용되어 가고 있다.

○ DLC 박막에는 다이아몬드, 다이아몬드상 탄소 및 폴리머상 탄소 등 모두가 포함된다. 앞으로 점점 더 성막의 생산성, 조업기술 및 피막특성의 향상이 요구되게 될 것이므로 DLC 박막기술이 한층 더 각광을 받게 될 것이다.

○ 일본에서는 화학증착에 의해 성막되는 DLC 박막에 대한 특허 출원건수는 850건이나 된다. 이 중에서 플라스마 CVD가 75%이고 나머지가 25%(열 CVD 18%, 빛 CVD 3%, 기타 4%)이다.

○ CVD 기술과 장치에서는 집적회로용 플라스마 CVD 기술과 플라스마 CVD 장치를 특히 주목해야 할 분야로 꼽고 있다. 재료분야에서는 피복재료로서 DLC, 피복기재로서는 유리 재료에 주목이 집중되고 있다. 더욱이 CVD의 신규 이용기술에 대해서는 최근의 특허 출원건수가 증가하고 있는 분야나 대기업뿐만 아니라 중소기업에 이르기까지 큰 관심을 가지고 있다.

○ CVD에 의해 성막되는 DLC 박막은 LSI용 배선재료 및 절연막, 반도체 메모리 재료, 발광 디바이스 재료, 광전 변환재료 및 감광재료, 기계부품과 공구 등에의 피복, 초미립자 제조 등에 널리 활용되게 될 것이다.

저자: Yukihiro Sakamoto
자료유형: 학술정보