내 신청현황
종류	모집공고명	진행상태
신청내용이 없습니다.

알림마당

home

PVD에 관한 최신 동향

전문가 제언: ○ 오늘날 PVD법은 각종 중요한 전자부품이나 장치의 개발과 제조에 꼭 필요한 기술이 되었고, 이 PVD법으로 다른 방법에서 얻을 수 없었던 미세한 고밀도 박막이나 일정한 비율의 합금 박막, 특수한 결정구조를 가진 박막 등의 각종 특성을 유도해 낼 수 있게 되었다. 그러나 막의 두께가 수 µm 이하로 매우 얇은 경우, 특히 최근에 대두되고 있는 나노 기술의 개발을 위하여 박막의 미세한 특성치는 재평가되어야 한다.

○ PVD법은 원자력 반도체 전자공학과 관련된 산업기계공업의 실용적 부분에서 다양하게 응용되고 있으며, 최근에는 재료의 고온강도, 충격강도, 광학특성, 전자기적 성질, 내마모성 등의 성질을 충족시켜야 하기 때문에 다층 박막의 새로운 소재를 필요로 한다.

○ PVD법은 중간에 다른 기체분자들과 부딪혀서 기판에 닿지 못하거나 중간에 열을 잃어버려서 고체로 변해버리는 문제를 막기 위해 진공환경에서 실행하며, 이 수법의 전형적인 예로는 진공 증착법(Vaccum evaporation)과 스퍼터 증착법(Sputter evaporation) 등을 들 수 있다.

○ 우리나라의 KAIST에서는 박막 재료분야의 연구 성과를 극대화할 수 있는 고속 연구기법을 개발하여 최근에 저명학술지인 미국 국립과학원 회보(PNAS) 인터넷 판에 게재하였다. 이 기법은 서로 조성(혼합비율)이 다른 박막을 한 번에 수십 내지 수천 개를 만들고, 구조분석과 성능평가를 10배 이상 빠르고 정확하게 할 수 있는 고속 연구기법이다. 이 기법은 특히 첨단산업으로 불리는 전자재료, 디스플레이, 반도체 관련 제품에서 박막재료의 특성이 최종제품의 품질을 결정하는 매우 중요한 소재임을 강조하였다.

○ PVD 코팅은 공구, 금형 및 내마포 부품의 수명을 3~10배까지 향상시킬 수 있는 신기술로서 국내 주요 산업인 자동차, 기계공업 분야의 첨단화를 이룰 수 있는 기술로 평가받고 있다. 이미 국내 초경합금 생산업체에서 이 방법을 광범위하게 채용하여 매년 매출을 크게 신장시켰고, 이 PVD 코팅을 통한 국내 공구의 수출증대효과는 작년 한 해에만 3백억 원에 이르렀다.

저자: Atsuo Kawana
자료유형: 학술정보