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정전 척(Electrostatic Chuck)

전문가 제언: ○ 많은 휴대용 제품뿐만 아니라 산업용기기에도 경박단소에 초점을 두고 설계를 하고 있다. 그중에서 디스플레이 제품 중 휴대용은 작은 것을 원하나 가정용 TV 등은 얇고 큰 것을 선호하고 있다.

○ 각종 디스플레이의 외관재료는 아직은 대부분 유리를 사용하고 있다. 유리는 LCD 제조에서 그 기술을 세대로 구분하여 부르고 있으며, 국내 경우 현재 7세대 라인이 가동 중에 있고, 곧 8세대 라인이 설치될 예정이다. 세대는 유리의 크기로 구분하고 7세대의 경우 두께는 0.7mm 내외이며 크기는 1,870×2,200mm이고 8세대는 2,200×2,500mm 이다.

○ 대형박판 기판유리는 제조공정이나 제품가공 공정에서 핸들링은 자동이 아니면 불가능하다. 그간에 사용되었던 진공 척(chuck)이나 기계적인 척은 운반체인 유리에 응력이 걸리기 때문에 제품품질에 영향을 미치고 있다.

○ 이러한 문제로 반도체나 디스플레이 제조공정에서 기계적인 척을 사용하고 있었으나 정전 척으로 교체하고 있다. 지금까지 사용한 정전 척은 유리와 같은 고절연체의 파지에는 고전압을 걸어야 하였다. 그러나 고전압은 기판에 영향을 주어 결점을 발생시키는 원인이 되고 있다.

○ 일본의 Tsukuba Seiko Co.,Ltd에서 개발한 정전 척은 전압을 인가하여 전극면과 운반체 간에 전위차를 발생시키면 상호간에 쿨롱의 힘이 발생하여 운반체를 흡착할 수 있는 원리이다. 이 시스템은 낮은 전압 하에서 작동이 가능하여 기존 정전 척에 비하여 우수하다. 이러한 척은 유리제조 공장과 디스플레이 제조공정에서 유용하게 이용될 수 있을 것으로 기대되어 웨이퍼 가공, 디스플레이 산업이나 관련 장비제조 업계에서 세밀한 검토가 있기를 바란다.

저자: Fow-Lai POH
자료유형: 학술정보