감광성유리의 미세가공과 응용

전문가 제언

○ 감광성유리(photosensitive glass)는 1950년대 개발되어 지금까지 많은 연구가 진행되어 왔다. 이어서 감광성 결정화유리가 개발되어 그 연구사례가 증가하였다. 감광성유리가 이용되는 가장 큰 이유 중의 하나는 감광된 부분과 그렇지 않은 부분 간에 화학적 내구성 차이를 이용하여 미세구조물의 가공이 가능하다는 점이다.

○ 일반적으로 결정이 석출된 부분은 HF에 쉽게 용해되며, 자외선이 조사되지 않은 부분과 에칭속도 차이는 약 50배라고 알려져 있다. 개발 초기에는 감광성 유리면에 그림을 넣는 등 그리 정교하지 않은 패턴에 적용되었다.

○ 그러나 최근에 부품의 소형화요구에 따라 마이크로구조 유리에 대한 관심이 높아졌다. 감광성 결정화 유리는 유리의 특성인 내압축성, 내열성, 전기 절연성 등을 가지고 있고, 에칭에 의한 정밀가공이 용이하여 정밀부품에 적합하다.

○ 이러한 기술을 응용한 예로서 잉크프린터용 헤드, 현미경(AFM)의 캔틸레버, 특수기판 등이 있으나 제조공정에 대한 자세한 노하우는 공개되지 않고 있다. 이 문헌에 기술된 것처럼 감광성 유리를 상용화 하여 판매하는 Corning, Schott, Yoya 회사는 모두 유리 분야에서는 독보적인 기술을 가지고 있으며 유리역사가 오래된 회사이다.

○ 감광성유리에 대한 기본적인 내용은 대부분 알려져 있으나 미세구조물 제작에 관련된 문헌은 발표되는 양도 적고, 세부적인 자세한 내용은 기술하지 않고 있다. 향후 감광성유리의 용도 개발도 중요하지만, 미세구조물 제조에 필요한 유리조성, 자외선 처리시간과 온도에 따른 결정화관계, 에칭에 사용되는 HF 용액의 농도와 기타 무기산 첨가에 대한 영향 등 기초적인 연구가 많이 되어야 할 것으로 생각된다.

저자

Misaki Hatsuda, Yoshinari Motomura, Kazuaki Hashimoto

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2007

권(호)

22(1)

잡지명

New glass(日本)

과학기술
표준분류

재료

페이지

75~80

분석자

김*환

분석물

• 감광성유리의 미세가공과 응용.pdf [229,954 byte]

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