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쉐임플러그 정상화기

전문가 제언: ○ 이 원리는 광학 기구 렌즈에 경사진 물체의 영상을 일그러짐 없이 필름에 잡는 방법으로, 오스트리아 육군 대위 Theodor Scheimpflug가 일그러진 항공사진을 수정하는 기구를 고안한 후 그 이론을 Scheimpflug 원리라고 불렀다.

○ 특수 카메라에 응용되어 예술, 산업, 보안, 의학 등에 널리 적용된다. 특히 백내장의 심층 분석에 Scheimpflug 카메라가 사용되어 안과적 의학 발달에 크게 공헌하고 있다.

○ 본 고에서는 Scheimpflug 원리를 이용한 카메라로 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 가장자리 끝과 상하면의 돌출 부분을 검사하는 장비로 쓰이는 경우를 예로 들어 설명하였다.

○ 이러한 검사 카메라 장비는 본 발명의 원리를 이용하여 실제로 몇 가지 방법으로 만들 수 있다. 첫째, 감광격자를 Scheimpflug 조건을 충족하게 경사면을 유지시키고 감광격자에 붙어 있는 마이크로 렌즈들의 방향을 수직이 아닌 렌즈 쪽으로 비스듬히 배열하여 들어오는 빛을 감광영역에 닿게 하는 방법이다.

○ 둘째는 감광격자의 마이크로 렌즈 격자를 정위치 수직으로 배열하고 정상화기를 렌즈와 감광격자 사이에 두어 빛의 방향을 조정하여 영상을 정상화시키는 방법이다.

○ 셋째는 굴사체(산광기)를 렌즈 앞 물체 쪽에 설치하여 조명으로 물체를 비치면 반사 빛이 Scheimpflug 카메라 감광 격자에서 정상으로 잡히도록 산광기와 감광격자를 배열하는 방법이다. 이 때 조명은 공간 조건에 따라 굴절시킬 수 있다.

○ Scheimpflug 방법은 비정상적으로 배치된 물체의 정상적 영상을 얻는 한 가지 방법이다. 산업 현장이나 신체 부위에는 특수한 형상이 만이 존재하는 만큼, 이 방법의 다른 응용 형식이나 아니면 아주 다른 변환을 적용하여 그들의 정상적 영상을 얻는 방법의 연구가 이어질 것이다.

저자: RUDOLPH TECHNOLOGIES, INC.
자료유형: 특허정보