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수직 측벽들이 있는 지지 구조물을 가진 MEMS 장치

전문가 제언: ○ MEMS는 미소 기계적 요소들, 엑츄에이터(Actuator) 그리고 전자기기를 포함한다. 기계적 요소들은 적층, 에칭(Etching), 그리고 미세 기계가공 과정을 통하여 만들어지고, 이 MEMS 장치들의 구체물들은 실제적으로 수직 측면 벽들을 가지는 지지 구조물들로 구성한다. 확실한 지지 구조물들은 자기평탄화(Self-planarizing) 재료들 혹은 한 개의 도금 과정을 통하여 형성된다.

○ 다른 지지 구조물들은 한 개의 절연 에치를 통하여 형성된다. 다른 MEMS 장치들은 한 개의 움직일 수 있는 층 아래에 적어도 부분적어로 지지 구조물들을 포함한다.

○ 그 움직일 수 있는 층 아래에 있는 그 지지 구조물들의 그 부분들은 한 개의 볼록한 측면 벽을 포함한다. 그 이상의 구체물들에서, 그 지지 구조물의 부분들은 그 움직일 수 있는 층안에 있는 한 개의 간극을 통하여 확장하고, 그리고 그 움직일 수 있는 층의 적어도 한부분위로 확장한다.

○ 본 발명품은 그 구조와 내부 전자 장치를 아주 상세하게 설명하고 있다. 이용분야는 광범위한 범위의 응용을 가지고, 이들 형태의 장치의 특성을 수정하거나 혹은 이용하는 기술에서 유용하고 현존하는 상품을 개선하거나 혹은 지금까지 개발되지 않은 새로운 상품을 창조하는 그들의 모양을 개발할 수 있을 것으로 생각된다.

저자: QUALCOMM MEMS THCHNOLOGIES, INC.
자료유형: 특허정보