알림마당

  1. home

2개의 챔버를 갖는 MEMS형 무밸브 마이크로 펌프

전문가 제언
○ MEMS형 마이크로 펌프는 1분에 수 ㎛~mm 단위에 이르는 소량의 액체를 이송시키기 위한 마이크로 유체디바이스다. 이 디바이스는 잉크젯프린터를 비롯하여 전기영동, 소량의 약물전달-시스템(DDS), 바이오센서, 자동 Lab-on-a-Chip, 마이크로-종합분석시스템(μ-TAS) 등 바이오/의료분야에서 응용이 확대되는 추세이다.

○ 지금까지 고안된 MEMS형 마이크로 펌프의 설계는 체크밸브가 달린 구조이거나 밸브가 달린 펌프의 여러 단점을 극복하기 위해 다이아프램 구조의 압전구동형 무밸브 펌프들을 고안하여 특허출원하고 있다. 그러나 이 구조설계 역시 효율과 성능요인으로 응용에 제한을 받고 있다.

○ 이 보고서에서 다룬 발명특허 “MEMS형 무밸브 마이크로 펌프”는 기존의 펌프 챔버를 단일구조에서 2중구조로 하고 유체의 흡입·토출구를 추대형상 구조로 설계하여 압전력에 의해 펌프막을 작동시키는 방법으로서 펌프의 성능과 효율향상을 도모하고 있다.

○ 마이크로 펌프 구조설계는 펌핑 효율을 높이고 더욱 소형이면서 얇고 고기능화·지능화하는 경향이다. 수요가 많은 바이오/의료분야에서 응용하는 마이크로 펌프는 압전 재료와 센서와 같은 고기능재료·부품의 이용과 MEMS 기술과의 결합이 대세를 이루고 있다.

○ 국내 특허출원은 1994년 독일 프라운호퍼 연구원이 출원한 “정전구동형 다이아프램 마이크로 펌프”가 최초이며 체내 약물전달용으로서는 2006년 4월 스위스 EPFL의 “Liquid Drug Delivery Micropump"가 출원 중이다(한국특허출원번호 1020067008076, WO 2005/039674).

○ 2000년 이후에 KIST, ETRI, 서울대, 아주대, 삼성전자 등 한국출원인이 구동방법이 상이한 바이오 및 전자응용 목적의 마이크로 펌프관련 특허를 국내에 출원하고 있다(등록·공개기준). 앞으로 국내 바이오/의료기술의 발전과 함께 이러한 국내출원인의 출원건수는 증가할 것으로 예상되며, 이러한 출원열기가 국제특허등록으로 이어지기를 기대한다.
저자
Board of Trusteers of the University of Illinois
자료유형
특허정보
원문언어
영어
기업산업분류
정밀기계
연도
2007
권(호)
WO20070030750
잡지명
PCT Patent
과학기술
표준분류
정밀기계
페이지
1~28
분석자
박*선
분석물
이 페이지에서 제공하는 정보에 대하여 만족하십니까?
문서 처음으로 이동