2개의 챔버를 갖는 MEMS형 무밸브 마이크로 펌프
- 전문가 제언
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○ MEMS형 마이크로 펌프는 1분에 수 ㎛~mm 단위에 이르는 소량의 액체를 이송시키기 위한 마이크로 유체디바이스다. 이 디바이스는 잉크젯프린터를 비롯하여 전기영동, 소량의 약물전달-시스템(DDS), 바이오센서, 자동 Lab-on-a-Chip, 마이크로-종합분석시스템(μ-TAS) 등 바이오/의료분야에서 응용이 확대되는 추세이다.
○ 지금까지 고안된 MEMS형 마이크로 펌프의 설계는 체크밸브가 달린 구조이거나 밸브가 달린 펌프의 여러 단점을 극복하기 위해 다이아프램 구조의 압전구동형 무밸브 펌프들을 고안하여 특허출원하고 있다. 그러나 이 구조설계 역시 효율과 성능요인으로 응용에 제한을 받고 있다.
○ 이 보고서에서 다룬 발명특허 “MEMS형 무밸브 마이크로 펌프”는 기존의 펌프 챔버를 단일구조에서 2중구조로 하고 유체의 흡입·토출구를 추대형상 구조로 설계하여 압전력에 의해 펌프막을 작동시키는 방법으로서 펌프의 성능과 효율향상을 도모하고 있다.
○ 마이크로 펌프 구조설계는 펌핑 효율을 높이고 더욱 소형이면서 얇고 고기능화·지능화하는 경향이다. 수요가 많은 바이오/의료분야에서 응용하는 마이크로 펌프는 압전 재료와 센서와 같은 고기능재료·부품의 이용과 MEMS 기술과의 결합이 대세를 이루고 있다.
○ 국내 특허출원은 1994년 독일 프라운호퍼 연구원이 출원한 “정전구동형 다이아프램 마이크로 펌프”가 최초이며 체내 약물전달용으로서는 2006년 4월 스위스 EPFL의 “Liquid Drug Delivery Micropump"가 출원 중이다(한국특허출원번호 1020067008076, WO 2005/039674).
○ 2000년 이후에 KIST, ETRI, 서울대, 아주대, 삼성전자 등 한국출원인이 구동방법이 상이한 바이오 및 전자응용 목적의 마이크로 펌프관련 특허를 국내에 출원하고 있다(등록·공개기준). 앞으로 국내 바이오/의료기술의 발전과 함께 이러한 국내출원인의 출원건수는 증가할 것으로 예상되며, 이러한 출원열기가 국제특허등록으로 이어지기를 기대한다.
- 저자
- Board of Trusteers of the University of Illinois
- 자료유형
- 특허정보
- 원문언어
- 영어
- 기업산업분류
- 정밀기계
- 연도
- 2007
- 권(호)
- WO20070030750
- 잡지명
- PCT Patent
- 과학기술
표준분류 - 정밀기계
- 페이지
- 1~28
- 분석자
- 박*선
- 분석물
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