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박막증착을 위한 전기분사기술

전문가 제언: ○ 전기분사의 방법으로 고체박막을 증착시키는 기술은 최근 아주 유용한 나노기술로 대두되고 있다. 지금까지 이 기술은 주로 실험실적으로 연구 개발되어 왔지만 최근 첨단산업에서의 현장적용이 활발히 진행되고 있다. 특히 전기분사 기술은 대기환경 내에서 넓은 면적에 대하여 값싼 장비와 용이한 작업으로 균일한 코팅을 할 수 있다는 장점 때문에 크게 각광을 받을 수 있을 것으로 예상된다.

○ 박막증착 기술은 원자력 설비, 태양전지, 연료전지, 리튬 전지, 마이크로 및 나노 전자장치, 생명과학 및 반도체 산업에 광범위하게 연구 개발되어 적용되고 있으며 최근에 최첨단 과학기술에 필요한 핵심적인 표면처리 기술로 대두되고 있다.

○ 전 세계적으로 몇몇 그룹이 막의 증착, 장치의 조립 및 실험실적인 연구결과에 대하여 획기적인 성과를 거두고 있지만 아직 전기분사의 메커니즘과 막의 형성과정에 대하여 근본적인 해결책을 제시하지 못하고 있으므로 앞으로의 발전가능성은 무한하다고 볼 수 있다.

○ 지금까지의 분사방법 중에서 전기분사가 아직 광범위하게 사용되지 않은 첨단 표면처리 기술이지만 액체금속이온에 의한 적용기술 특히 마이크로 단위의 피막 제조기술은 크게 부각될 수 있을 것으로 예상되고 있으므로 관련 산업체에 적극적인 기술지원과 홍보가 필요한 과제라고 사료된다.

저자: Jaworek, A; AF Jaworek, A.
자료유형: 학술정보