고분해능 FE-SEM/ESB/ASB의 개척 : 새로운 나노 표면분석의 세계

전문가 제언

○ 전자현미경에서 입사전자는 시료 원소와 상호작용을 통하여 표면으로부터 깊이에 따라 오제전자, 2차 전자, 비탄성산란 흡수전자, 후방탄성산란전자 그리고 특성 X선 등 여러 가지 정보를 갖는 전자파를 방출하고 이러한 전자파가 현미경의 상으로 이용되는 것은 잘 알려져 있다.

○ 일반적으로 입사전자의 세기가 클수록 작은 파장의 전자파가 가능하여 고분해능을 얻을 수 있으나 과거 SEM(30~50kV)인 경우 고분해능은 구조에 대한 정보만 가능하고 특수한 조성분석 모드를 이용하는 경우는 원자번호×밀도의 차이가 큰 경우만 낮은 분해능으로 분석이 그나마 가능했다.

○ 그러나 새로 개발된 ESB, ASB검출기는 매우 낮은 >1kV에서 후반탄성산란전자상을 결집할 수 있기 때문에 유리, 플라스틱 등도 별도의 도전성 코팅을 하지 않고 관찰이 가능하고 TEM-EDX, EELS 등의 고가 그리고 고도의 숙련된 작업을 필요로 하는 장비와 유사한 분석이 매우 빠른 시간에 수행 가능하다.

○ 나노관련 분야의 연구가 활발해짐에 따라 현미경 관련 분석, 연구도 증가하고 있다. 수 나노스케일 시료의 이미지분석을 위해서 그동안 SPM, TEM이 주로 사용되었으며 FE-SEM은 분해능의 한계로 수 나노스케일의 분석에서는 제한적으로 연구, 분석이 가능하였다. 국내에 설치되어 FE-SEM의 최고 공간분해능은 1.2nm(15kV)로서 수 나노스케일의 분석이 어려웠으며 주로 TEM을 이용한 분석이 많이 수행되었다. 그러나 최근에는 새로운 검출기로 이상의 문제는 극복되고 있다.

저자

Kenichi Shimizu, Tomoaki Mitani, Sigeaki Tachibana

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2006

권(호)

56(8)

잡지명

경금속(E053)

과학기술
표준분류

재료

페이지

454~458

분석자

임*산

분석물

• 고분해능 FE-SEM ESB ASB의 개척-새로운 나노 표면분석의 세계.pdf [243,564 byte]

이미지변환중입니다.