다공성 종렬형태 박막형성에 대한 최근 나노 구조 공학
- 전문가 제언
-
○ 기술은 기존의 박막 형성 기술이 정지되어 있는 증착 면에 대한 물질의 증착이었던 것을 개선하여 증착 면을 이동시켜서 원하는 형태를 만들어 내는 것을 말한다. 그리고 이러한 증착면의 동작 조절과 함께 증착 표면에 증착하는 물질이 잘 붙을 수 있는 패턴을 형성시켜서 원하는 구조물을 만들 수 있게 한다. 이를 통해 종렬 구조의 일정한 패턴과 나노 띠 구조물을 만들어 내었다.
○ 또한 증착 면과 증착 증기 흐름의 입사각을 조절하여 구조물 형성에서의 구조물의 확장과 소멸을 방지하여 고른 구조물을 만들 수 있음을 보여주고 있다. 이러한 과정을 통해 기존에 만들기 어려웠던 새로운 구조물을 만들고 새로운 특성을 얻어낼 수 있었다. 이러한 개선은 증착면의 움직임 조절 기술과 같은 다른 공학 영역에서의 발전에 힘입어 이루어진 것이다. 이는 곧바로 고효율의 새로운 소자 개발로 이어질 수 있다.
○ 기술의 발전은 한 분야만의 발전이 아니라 여러 분야의 기술이 서로 영향을 미치면서 발전하는 것을 알 수 있었다. 기존의 공정을 새롭게 개선하여 새로운 공정으로 만드는 것에 대한 생각을 얻을 수 있다는 점에서 의미가 있다.
○ 스침 각 증착은 조작 가능한 여러 종렬 형태의 고기능성 얇은 막을 형성하는 물리적 증착방법이다. 최근 스침 각 증착 기술의 발전으로 종렬 형태의 주기적인 더 복잡한 구조의 나노 구조물을 만들 수 있게 되었다. 이는 나노 섬유질의 다공성 박막을 만드는 데 이용되며 센서와 구동기로부터 광섬유, 미세 유체, 촉매에 이르기 까지 광범위하게 쓰인다. 이 논문에서는 최신의 스침 각 증착 기술과 그 발전과정을 다루고 있다는데 의미가 있다고 사료된다.
- 저자
- Steele, JJ; Brett, MJ; AF Steele, John J.; Brett, Michael J.
- 자료유형
- 학술정보
- 원문언어
- 영어
- 기업산업분류
- 전기·전자
- 연도
- 2007
- 권(호)
- 18
- 잡지명
- JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS
- 과학기술
표준분류 - 전기·전자
- 페이지
- 367~379
- 분석자
- 김*수
- 분석물
-
이미지변환중입니다.