강유전성 박막: 재료, 성질 및 응용

전문가 제언

○ 박막형태에서 강유전체와 극성재료들은 라디오파소자(rf device), 비-휘발성 메모리, 센서, 작동기, 가변 마이크로파 회로 등에서 광범위하게 사용되었다. 강유전성 재료 공정과 집적에 대한 어려움들은 메모리소자들을 만들려는 시도를 어렵게 했으나 착화합물 강유전체 산화물의 가공발전과 고온초전도체-산화물의 발견 및 그들의 실리콘 위에 집적하기 위한 노력은 강유전성 메모리의 관심을 재생시켰고 실리콘보충금속-산화물반도체(CMOS)와 집적된 강유전체 메모리가 시범설명 되었다.

○ 마이크로 전자공학과 같이 마이크로 센서집적의 첫 단계가 이루어졌고 마이크로 전자기계시스템들(MEMSs)의 분야가 새로 생겼다. 강유전체필름은 감지기능성을 MEMSs에 추가할 수 있게 되어 휴대용전화가 대량생산 되었고 극성박막의 도입은 그들의 더욱 소형화와 성능개선에 기여했다.

○ 강유전성 필름은 이제 수많은 널리 보급된 상품생산물로 사용되는데, 그들은 메모리, 마이크로파 전자구성성분 및 초전성을 가진 마이크로 소자들과 압전 마이크로센서/작동기를 포함한다. 여기서 강유전성 박막분야의 최첨단 기술을 설명 시도하였고, 특히 강유전체들의 나노크기 탐침특성 검사를 논의 했으며 다 강체 재료들과 강유전성 일차원적 나노구조 같은 새로 생긴 토픽들에 관하여 논평했다.

○ 박막증착 기술에는 스퍼터링 증착, 이온 플레이팅, 이온빔 스퍼터링, 화학기상 증착법, 레이저 어블레이션, 도금, 졸-겔 코팅 등의 공정이 있듯이 박막형성 자체가 고체화학의 물성응용에 중요한 인자가 된다. 강유전성 박막의 재료, 구조, 특성 및 응용분야의 광대한 미개척 영역들을 탐색하여 더욱더 심층적 연구개발은 비 휘발성 메모리, 마이크로 센서, 작동기, 휴대용전화기 등의 컴퓨터부품, 전자공학, 생활필수품 등의 산업발전에 직결되며 경제적 부가가치의 성장 동력이 기대된다.

저자

Setter, N; Damjanovic, D; Eng, L; Fox, G; Gevorgian, S; Hong, S; Kingon, A; Kohlstedt, H; Park, NY; Stephenson, GB; Stolitchnov, I; Taganstev, AK; Taylor, DV; Yamada, T; Streiffer, S

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

기초과학

연도

2006

권(호)

100

잡지명

Journal of Applied Physics

과학기술
표준분류

기초과학

페이지

1~46

분석자

여*현

분석물

• 강유전성 박막： 재료, 성질 및 응용.pdf [273,909 byte]

이미지변환중입니다.