알림마당

  1. home

반도체 내의 수소

전문가 제언
○ 수소는 주기율표에서 1번에 위치하는 원소로서 제1족 및 제7족에 속하는 원소와 유사한 점이 있다. 그래서 이들 양쪽에 포함시키거나 또는 그 특이성을 중요시하여 어느 쪽에도 포함시키지 않고 독립적으로 취급하기도 한다.

○ 이는 수소가 H+와 H- 즉 양의 전하와 음의 전하를 띨 수 있다는 것을 의미한다. 이러한 수소의 성질은 반도체 내에 이것이 존재할 때 어떠한 행동 양상을 보인다. 실제로 수소는 지구상 모든 곳에 존재하고 반도체 공정 상 자주 사용되기 때문에 반도체 내에 수소가 존재할 확률은 매우 높다고 본다.

○ 이러한 점에서 반도체 내에서 수소의 행동 양상을 파악하는 것은 매우 중요하며 본 분석에서는 이러한 수소의 행동 양상을 여러 가지의 실례를 들어 설명할 수 있었다.

– 이러한 점에서 수소가 반도체 내에 존재할 때 반도체와의 혹은 반도체 내의 계면이나 표면과의 상호 작용에 대한 메커니즘과 또 상호작용을 제어할 수 있는 방법들을 통해 반도체 분석 및 해석 이용에 가치가 있다고 판단된다.
저자
Van de Walle, CG; Neugebauer, J
자료유형
학술정보
원문언어
영어
기업산업분류
재료
연도
2006
권(호)
36
잡지명
ANNUAL REVIEW OF MATERIALS RESEARCH
과학기술
표준분류
재료
페이지
179~198
분석자
김*수
분석물
이 페이지에서 제공하는 정보에 대하여 만족하십니까?
문서 처음으로 이동