반도체 내의 수소
- 전문가 제언
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○ 수소는 주기율표에서 1번에 위치하는 원소로서 제1족 및 제7족에 속하는 원소와 유사한 점이 있다. 그래서 이들 양쪽에 포함시키거나 또는 그 특이성을 중요시하여 어느 쪽에도 포함시키지 않고 독립적으로 취급하기도 한다.
○ 이는 수소가 H+와 H- 즉 양의 전하와 음의 전하를 띨 수 있다는 것을 의미한다. 이러한 수소의 성질은 반도체 내에 이것이 존재할 때 어떠한 행동 양상을 보인다. 실제로 수소는 지구상 모든 곳에 존재하고 반도체 공정 상 자주 사용되기 때문에 반도체 내에 수소가 존재할 확률은 매우 높다고 본다.
○ 이러한 점에서 반도체 내에서 수소의 행동 양상을 파악하는 것은 매우 중요하며 본 분석에서는 이러한 수소의 행동 양상을 여러 가지의 실례를 들어 설명할 수 있었다.
– 이러한 점에서 수소가 반도체 내에 존재할 때 반도체와의 혹은 반도체 내의 계면이나 표면과의 상호 작용에 대한 메커니즘과 또 상호작용을 제어할 수 있는 방법들을 통해 반도체 분석 및 해석 이용에 가치가 있다고 판단된다.
- 저자
- Van de Walle, CG; Neugebauer, J
- 자료유형
- 학술정보
- 원문언어
- 영어
- 기업산업분류
- 재료
- 연도
- 2006
- 권(호)
- 36
- 잡지명
- ANNUAL REVIEW OF MATERIALS RESEARCH
- 과학기술
표준분류 - 재료
- 페이지
- 179~198
- 분석자
- 김*수
- 분석물
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