주파수 검출방식 원자 현미경의 초고속 분해능력화와 힘 분광법

전문가 제언

○ 원자현미경은 광학현미경과 전자현미경에 이어 1982년에 개발된 제3세대 현미경으로 원자지름의 수십 분의 1(0.01㎚)까지 측정할 수 있는 나노 기술발전에 필수인 첨단 계측정비라고 할 수 있다.

○ 원자현미경은 주사탐침현미경(Scanning Probe Microscope, SPM)과 원자력간현미경(Atomic Force Microscope, ATM)으로 구분할 수 있다. ATM이 SPM에 비해 최대 해상도는 부족하지만 비도전성 시료의 측정이 가능하고 NC-ATM인 경우는 시료를 거의 손상시키지 않는 장점이 있어서 현재 가장 널리 사용되고 있는 실정이다.

○ 우리 나라의 제2기 나노기술종합발전계획(2006~2015)에 의하면 2015년까지 정부와 민간에서 4조 8,550억 원의 예산을 투자하여 나노기술 선진 3대국의 기술경쟁력을 확보한다는 계획이다. 따라서 나노 기술의 개발에 필수인 ATM 기술은 선진국에 비하여 그 원천기술은 미약하지만 이미 국내 중소기업(PSIA, 1997년 설립한 정밀계측장비 회사)에서 차세대 원자현미경을 개발하여 그 기술력을 인정받아 미국 NASA, 아르곤국립연구소, 스탠퍼드대 등에 수출한 실적이 있다고 보고가 된 바 있다.

○ 원자현미경은 나노 기술의 발달과 더불어 관찰과 측정에 그치지 않고 나노 리소그라피(nano-lithography), 나노 머시닝(nano-machining) 또는 나노 로봇(nano-robot)으로도 사용될 수 있고, 원자, 분자 단위의 물질 조작이 가능하다. 따라서 이러한 기능 등은 차세대 AFM으로 더욱 발전되어 갈 것으로 사료된다.

저자

Masayuki Abe, Seizo Morita

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2006

권(호)

45(2)

잡지명

계측과 제어(E109)

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

93~98

분석자

박*준

분석물

• 주파수 검출방식 원자 현미경의 초고속 분해능력화와 힘 분광법.pdf [252,162 byte]

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