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고집적 복합 MEMS제조기술개발프로젝트 기본계획수립을 위한 조사연구

전문가 제언: ○ 20세기 후반에 소위 “경박단소”를 통해 세계의 제품시장에서 강력한 경쟁력을 지녀온 일본은 21세기의 새로운 전략기술 분야인 마이크로 나노기술에서 최근 중요한 국가프로젝트를 기획 추진하고 있다.

○ 이 보고서는 MEMS개발에서 후발위치에 있는 일본이 미국과 EU와의 MEMS개발경쟁력, 특히 제조프로세스기술에서 우위를 확보하기 위해 2006년부터 2008년까지 국가프로젝트로 추진할 “고집적 복합 MEMS 제조기술개발 프로젝트”의 기본계획(안)으로 작성된 내용이다.

○ 이로써 일본은 MEMS Foundry 서비스산업을 중심으로 한 인프라조성계획인 “MEMS프로젝트”, MEMS설계 제작용 소프트웨어개발사업인 “MEMS설계 해석지원시스템개발 프로젝트(MEMS-ONE)"와 함께 ”차세대 MEMS기술에 대한 R&D프로젝트“를 추진하게 되는 셈이다.

○ “고집적 복합 MEMS제조기술개발 프로젝트”는 광MEMS, RF-MEMS, Bio-MEMS, Sensor-MEMS 등 앞으로 개발경쟁이 치열할 것으로 예상되는 MEMS디바이스기술의 선점을 겨냥하고 있고, 이는 장래 MEMS수요(2010년 일본시장규모예측 : 1.35조 엔)에 대응하기 위한 국가적 전략의 일환이다.

○ 이 보고서에 반영된 프로젝트기본계획의 연구내용은 대과제로 ①MEMS-나노기능의 복합기술, ②MEMS-반도체일체 형성기술, ③MEMS-MEMS 고집적 결합기술, ④고집적 복합 MEMS지식 데이터베이스개발 등으로 구성되고 있다. 이 과제들은 장래 국제적 MEMS연구개발방향을 암시하는 것으로 주목할 필요가 있다(보고서에는 세부과제별 연구내용과 개발목표가 반영되어 있음).

○ 국내에서도 2000년대 진입하면서 대학과 연구기관, 일부기업에서 MEMS연구가 활성화되어 왔다. 그러나 자동차에어백용 가속도센서 등 MEMS디바이스들은 수입에 의존하는 상태이다. MEMS산업인프라조성(파운드리 서비스체제구축), 한국형 소프트웨어개발과 차세대 MEMS개발경쟁력 확보를 위한 국가적 계획이 조속히 이뤄져야 할 시점이다.

저자: JATIS
자료유형: 학술정보