마이크로플라스마 중합법의 개발과 센싱 프로세스로의 응용

전문가 제언

○ 고체, 액체, 기체에 이은 제4의 물질상태인 플라스마(plasma)는 이온화한 기체상태로 20세기 초 Langmuir에 의해 명명되었다. 주로 전기적인 방전으로 인해 생성되는 전하를 띈 양이온과 전자들의 집단으로 소위 ‘제 4의 물질상태’로 불린다. 우주의 99%가 플라스마 상태로 이루어져 있다는 사실 또한 잘 알려져 있다.

○ 현재까지 일려진 플라스마는 그 크기가 공간적으로 수 ㎜에서 수 m인 마크로(macro) 공간 플라스마이거나 자연계 플라스마나 우주 플라스마와 같이 그 크기가 수 ㎞에서 몇 광년에 이르는 소위 슈퍼마크로 공간 플라스마이다. 그러나 최근 활발히 연구되고 일부는 실용화되고 있는 마이크로플라스마는 그 크기 수 ㎜ 이하의 미세 공간(메조/마이크로 공간), 특히 수 ㎛ 이하의 초미세 공간(나노공간)에서의 플라스마로서 아직도 많은 연구가 남아있다.

○ 형광등, 가스레이저 등의 “광원으로서의 응용”으로서 시작된 플라스마의 응용은 반도체 디바이스나 DNA 바이오틱스(biotics) 제작, 나노 물질 합성 등 “재료 디바이스 프로세스 응용”, 우주 로켓 플라스마엔진 등의 “우주공학 응용”, 폐기물․유해물질 처리, 공기정화장치 등의 “환경공학 응용”, 플라스마 수술용 메스, 플라스마 치료기구 등의 “의료 응용” 등으로 광범위한 분야에서 기반기술로서 그 중요성이 점점 증대되고 있다.

○ 다른 한편으로 최근 주목 받고 있는 초미세영역(마이크로/메조/나노 공간)에서의 플라스마 과학기술에서도 산업응용으로서 PDP-광 응용을 시작으로 다방면에서 기반과학기술로서 착실히 자리를 잡아가고 있다.

○ 이러한 마이크로플라스마는 높은 에너지를 아주 작은 공간에 주입하여 플라스마 공간에서 고활성종(高活性種)을 효율 높게 만들어 직접 드라이 프로세스나 화학합성에 이용할 수 있으므로 종래 화학합성 프로세스에 큰 변혁을 제공하는 것으로써 주목되고 있다.

저자

Shigeru Kurosawa, Hiroshi Harigae, Hidenobu Aizawa, Kazuo Terashima, Hiroaki Suzuki

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2006

권(호)

26(6)

잡지명

기능재료(D338)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

23~31

분석자

김*수

분석물

• 마이크로플라스마 중합법의 개발과 센싱 프로세스로의 응용.pdf [238,284 byte]

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