대기압 마이크로플라스마의 주문형 재료 프로세싱으로의 응용

전문가 제언

○ 현재까지 알려진 플라스마는 그 크기가 공간적으로 수 ㎜에서 수 m인 마크로(macro) 공간 플라스마이거나 자연계 플라스마나 우주 플라스마와 같이 그 크기가 수 ㎞에서 몇 광년에 이르는 소위 슈퍼마크로 공간 플라스마이다. 그러나 최근 활발히 연구되고 일부는 실용화되고 있는 마이크로플라스마는 그 크기 수 ㎜ 이하의 미세공간(메조/마이크로 공간), 특히 수 ㎛ 이하의 초 미세공간(나노공간)에서의 플라스마로서 아직도 많은 연구가 남아있다.

○ 형광등·가스레이저 등의 “광원으로서의 응용”으로서 시작된 플라스마의 응용은 반도체 디바이스나 DNA 바이오틱스(biotics) 제작, 나노 물질 합성 등 “재료 디바이스 프로세스 응용”, 우주 로켓 플라스마엔진 등의 “우주공학 응용”, 폐기물·유해물질 처리, 공기정화장치 등의 “환경공학 응용”, 플라스마 수술용 메스, 플라스마 치료기구 등의 “의료 응용” 등으로 광범위한 분야에서 기반기술로서 그 중요성이 점점 증대되고 있다.

○ 아주 짧은 펄스(pulse) 폭을 가진 펄스 파워에 의해 생성된 대기압 기체 또는 물 속에서 마이크로플라스마를 생성시켜 그 특성을 활용함으로써 생체 작용을 일으키는 기법으로 환경 및 바이오 시스템으로의 새로운 응용분야가 개발되고 있다. 바이오일렉트릭스(bioelectrics) 혹은 일렉트로닉스(electronics)에 활용함으로써 세포분할, 세균과 바이러스 처리, 기체/액체/식품을 화학처리하지 않고 플라스마 처리하는 등 환경·의료·식품·살균 분야·기관 형성 제어 등 다양한 응용분야로 전개될 가능성을 갖고 있다.

○ 이러한 마이크로플라스마는 높은 에너지를 아주 작은 공간에 주입하여 플라스마 공간에서 고 활성종(高活性種)을 효율 높게 만들어 직접 드라이 프로세스나 화학합성에 이용할 수 있음으로 종래 화학합성 프로세스에 큰 변혁을 제공하는 것으로써 주목을 받고 있다.

저자

Yoshihiki Shimizu, Takeshi Sasaki, Naoto Koshizaki, Kazuo Terashima

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2006

권(호)

26(5)

잡지명

기능재료(D335)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

49~54

분석자

김*수

분석물

• 대기압 마이크로플라스마의 주문형 재료 프로세싱으로의 응용.pdf [250,687 byte]

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