마이크로 플라스마 디바이스의 설계

전문가 제언

○ 마이크로 플라스마의 발전과 더불어 지금까지 플라스마 프로세스에서 추구해온 개념을 뛰어넘는 영역에 들어서고 있다.

○ 미소한 플라스마를 ① 어떻게 높은 효율로 안정되게 생성할 수 있는가?, ② 어떻게 검출하고 계측하는가?, ③ 어떻게 새로운 응용 분야를 전개해 나가는가? 하는 것이 연구자들의 큰 과제이다.

○ 전자파의 주파수에 대해서 유전율이 변화하고 플라스마 주파수 이하에서는 도전성을 나타내는 마이크로 플라스마의 전기적 특성은 고체재료의 소자에서는 얻을 수 없는 특성이다. 이러한 성질을 이용해서 종전의 디바이스에서는 찾아볼 수 없는 새로운 기능의 개발이 가능하다.

○ 다수의 마이크로 플라스마를 2차원 내지 3차원으로 배열하여 일종의 포토닉 결정의 구조를 형성함으로써 전자파를 제어하는 방법, 특히 광의 파장영역에 있어서 광파를 제어하는 연구는 획기적인 고기능성 디바이스 개발의 전망을 밝게 하고 있다.

○ 마이크로 플라스마의 고집적화된 어레이 형성의 연구가 진척되면서 단체 플라스마나 고체소자에서 기대할 수 없는 신규 고기능의 설계가 가능해졌다.

– 그러나 아직은 가능성만을 확인한 단계이므로 앞으로 해결해야 할 많은 연구과제가 산적해 있다. 더불어 새로 개발되는 고기능의 응용도 적극적으로 관심을 가져야만 할 연구 분야라고 판단된다.

저자

Osamu Sakai, Kunihide Tachibana

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2006

권(호)

26(5)

잡지명

기능재료(D333)

과학기술
표준분류

재료

페이지

31~38

분석자

김*배

분석물

• 마이크로 플라스마 디바이스의 설계.pdf [247,217 byte]

이미지변환중입니다.