고감도 고공간 분해능 MI효과형 고주파 자계검출 소자의 개발
- 전문가 제언
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○ 우리나라는 정보처리, 정보통신 및 전보저장에 대한 고속화 및 고기능화의 기술은 세계적인 수준에 도달해 있으며, 지금은 경쟁력을 높이기 위해 에너지 절약을 위한 저 소비전력화에 노력하고 있다. 그리고 대학 및 연구소에서는 고기능 전자기기의 성능이나 신뢰성을 높이기 위한 효율적인 설계를 추진하는 동시에, 생산 측면에서는 전자 간섭을 최소화 하고자 최적 구조설계를 시도하고 있다. 또한 전자계 검출에 있어서는 저 주파에서 고 주파까지 대응이 되면서 고감도, 고 공간 분해능이 있으면서, 불필요한 전자파에 대한 정보를 얻어 미세화 된 전자회로의 자계를 정도 있게 측정하고자 노력하고 있다.
○ 교류 자계 검출의 경우 피 검출자계에 의한 자성 스트립의 임피던스 변화는 캐리어 진폭이 변조되면서 발생되는 측 파장 영역의 피크 강도가 교류자계 강도에 의존되고 있어서, 검출 대상 교류 자계는 고주파 전류에 의해 구성된 마이크로 스트립 선로(MSL)로부터 발생되는 자계를 사용하게 된다. 그리고 교류자계 신호원으로 사용한 MLS는 탐사 침 기판과 같은 유전체로 형성되어지면서, 탐사 침의 앞 단면과 MLS 신호선의 탐사 침 사이 거리의 출력을 측정하게 됨으로, 자계에 의해 임피던스가 변화한 자성은 FDTD 계산법으로 자계를 계산하여 MSL 거리의 자계 강도를 산출하고 있다.
○ MI 탐사 침에 의한 마이크로 스트립 상의 도식으로부터 전류의 말단 집중에 의한 특징적인 현상을 검출할 수 있게 된다. 그리고 공간 분해능이 큰 봉합형 루프 코일과 비교하여 MI 탐사 침이 보다 가까운 출력 값의 분포를 얻을 수 있다는 것은 탐사 침이 분해능이 높은 전위를 갖고 있다는 것을 의미한다. 앞으로 감지부의 미세화를 실현시키게 되면 고 공간 분해능화가 될 수 있으므로 MI 탐사 침은 고 공간 분해능 자계 검출에 있어서 아주 적합하다. 그리고 소자의 미세화와 성능 확인을 위해서는 미세 신호원의 제작 및 이를 엄격하게 평가할 필요가 있다.
- 저자
- kenji Tan
- 자료유형
- 학술정보
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 화학·화공
- 연도
- 2005
- 권(호)
- 03A14003a
- 잡지명
- NEDO기술정보데이터베이스
- 과학기술
표준분류 - 화학·화공
- 페이지
- 1~11
- 분석자
- 홍*준
- 분석물
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