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다이아몬드 자외선 센서

전문가 제언
○ 다이아몬드 반도체를 DUV 광센서로 응용하는 연구는 다결정 다이오드 박막과 단결정 다이오드 박막을 이용한 금속/다이아몬드 박막/금속접합 다이오드 구조가 주류를 이루고 있다.

○ 다이오드의 특성 중 역방향으로 전압을 가했을 때 발생하는 제너효과에 의해 정전압을 발생하는 정전압 다이오드가 있고, n형 반도체에 직접 쇼트키 게이트 전극을 연결해서 금속과 반도체의 접촉면에서 역 전압을 막는 것(Schottky Barrier)을 이용하는 쇼트키 배리어 다이오드도 있다.

○ 쇼트키 배리어 다이오드는 고주파용과 일반 정류용이 있으며, 고주파용은 UHF, 마이크로파대의 검파와 믹서용, 고속스위치에 사용되고 있다. 일반 정류용 쇼트키 배리어 다이오드는 다른 정류 다이오드에 비해 순방향 전압이 낮고, 역방향 내압도 별로 크게 할 수 없으므로(현재 100~200V 정도까지) 저전압 대전류의 전원 정류용이나 역회전 시간이 짧은 점을 이용해 고주파 정류스위치 전원으로 많이 사용되고 있다.

○ 일반적으로는 다이아몬드 자외선센서보다 자외선센서로는 질화갈륨자외선센서가 더 많이 활용되고 있는 것으로 보고되고 있다. 질화갈륨자외선센서는 질화갈륨을 이용한 반도체소자로 다른 소자의 자외선센서와는 달리 자외선 전용센서로 가시광선에 대한 필터링장치가 필요 없고 수광감도가 우수하다.

○ 질화갈륨자외선센서는 특히 광효율이 우수하고 자외선 감지 능력이 뛰어나며, 필터장치 없이 수광감도가 우수하여 고온다습한 환경에서도 주위환경의 영향을 크게 받지 않는 장점이 있다.

○ 향후 이러한 반도체소자들의 자외선센서 등의 제조를 위한 비교연구와 보다 더 민감하고 안정적인 자외선센서를 제조하여 활용할 수 있도록 지속적인 연구개발이 다양하게 이루어지기를 기대하는 바이다.
저자
Yasuo Koide
자료유형
학술정보
원문언어
일어
기업산업분류
재료
연도
2006
권(호)
26(4)
잡지명
기능재료(D328)
과학기술
표준분류
재료
페이지
25~32
분석자
오*섭
분석물
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