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광전송용 지역을 갖는 연마용 패드를 제조하기 위한 초음파 용접방법

전문가 제언: ○ 초음파 용접이란 기계적인 접합을 하기 위하여 높은 진동의 음파를 사용하여 물질을 녹여서 그 물질을 흘러가게 하는 기술이다. 이에 부응하여 본 발명에서는 광전송용 창문을 갖는 화학기계적인 연마용 패드의 제조방법을 제시하였으므로, 이 기술을 적용하면 가장 효과적으로 초음파 용접을 할 수 있을 것으로 사료된다.

○ 본 발명에 의한 화학기계적인 연마기술은 반도체 웨이퍼, 필드 이미션 디스플레이 및 기타 마이크로 전자공학에 들어가는 재료 위에 평평한 표면을 형성하기 위한 기술이다. 이러한 기술을 마이크로 전자공학장치의 제조기술에 응용함으로써 국내 관련 산업의 기술발전에 크게 기여할 것으로 추정된다.

○ 초음파 용접에 있어서 용접부의 품질을 좌우하는 인자와 소리를 발생시키는 금속의 조율장치(예, horn) 등 초음파의 원리를 세부적으로 설명하였으므로 초음파 용접장치를 연구 개발하는 관련 산업체에 큰 도움을 줄 수 있을 것으로 예상된다.

○ 연마용 패드 본체와 광전송용 창문에 들어가는 재질(예, 폴리머 수지 등)과 구성요소에 관하여 상세하게 기술하였으므로, 이러한 정보기술을 이용하면 초음파를 이용한 용접기술의 국내 정착이 용이할 것으로 생각된다.