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MEMS용 설계.해석 지원시스템의 파급효과와 보급활동

전문가 제언: ○ 미국.EU에 비해 MEMS 후발국인 일본은 2000년대에 진입하여 MEMS 기술개발과 산업형성을 촉진하기 위한 2개의 중요한 국가프로젝트를 추진 중이다. 하나는 MEMS의 산업화 촉진을 위한 인프라 전략으로서 MEMS 설계.제작을 지원하는 파운드리 서비스업(foundry service industry) 조성과 또 하나는 이 보고서에서 다룬 MEMS 설계.해석지원 소프트웨어(MEMS-ONE) 개발 사업의 추진이다.

○ MEMS의 시스템 전체와 디바이스개발을 위해서는 설계.해석용 소프트웨어를 통해 아이디어의 시뮬레이션이 우선 필요하다. 이 과정을 통해 시스템.디바이스의 최적화 솔루션을 찾고, 각종 재료 DB를 비롯한 제조 프로세스의 시뮬레이션을 거친다. 이 과정은 반도체 산업과 거의 유사하여 파운드리 서비스 산업의 형성을 필요로 하고 있다.

○ 1990년대부터 MEMS 전용 프로그램 개발을 개발해 온 미국은 ConventorWare, IntelliSuite, ANSYS/Multiphysics 등 세계의 MEMS 전용 설계.해석용 프로그램시장을 석권하고 있다. 미국 외의 프로그램으로서는 프랑스 MEMSCAP의 MEMS Pro가 MEMS/MST용 종합설계프로그램으로 미국과 경쟁하는 수준이다.

○ 일본에서 MEMS 연구개발을 위해 산.학.연에서 사용중인 종합시뮬레이터는 ConventorWare 등 외국 제품들이다. 설계.해석용 시뮬레이션 프로그램이 개발 경쟁력 강화의 바탕을 이룬다는 측면에서 일본 최초의 MEMS용 종합 설계.해석 프로그램으로 개발을 추진한 MEMS-ONE을 수요자가 앞으로 얼마나 활용할 것인가, 보급을 확대하기 위해서는 어떤 과제를 해결해야 할 것인가를 이 보고서가 제시하고 있다.

○ 이 조사 사업에서는 최근 IEEE MEMS 국제학술회의에서 발표되는 글 중 약 20% 이상이 시뮬레이션 프로그램을 이용한 것으로 확인되었고, 우리나라의 일부대학이 대표적 이용기관의 하나로 인용되었다. 국내외 의 MEMS 연구개발 진전 상황으로 볼 때 정부는 MEMS Foundry 산업 조성과, 시뮬레이터 개발을 위한 준비에 바로 착수하는 것이 바람직하다고 판단된다.

저자: Micro Machine Center, Mizuho Research Institute
자료유형: 학술정보