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철실리사이드 반도체의 기초와 응용

전문가 제언: ○ 날로 환경오염과 생체에 대한 안전성에 관한 규제가 강화되어 가고 있는 현실이다. 지금까지의 반도체소자의 제조과정에서는 피할 수없는 문제이며 지각의 원료공급 면에서도 충분치 않은 상황이다. 이른바 친환경소자의 연구개발이 절실히 필요하게 되었다.

○ 여러 가지 고유의 특징과 장점을 가지고 있는 실리사이드의 연구가 진전되어 가면서 많은 응용확대가 기대되고 있다. 이를 더욱 빠르게 구현하기 위해서는 실리사이드 고유물성의 정확한 해석이 선행되어야 하는데 아직은 초기단계로서 많은 연구와 시행착오가 필요할 것이다.

○ 반도체 철실리사이드 β-FeSi2는 다채로운 성질을 보이는 철실리사이드 화합물 중에서도 가장 기대가되는 광전자재료로서 부각되고 있다. 앞으로 응용하는데 있어 형태학(Morphology), 격자구조 및 격자결함, 첨가물 등과 광특성과의 관계를 명확히 밝히는 것이 중요하다.

○ 실리사이드의 시료제조에 몇몇 가지 박막제조기술이 쓰이고 있으나 박막으로서는 물성연구와 해석을 위하여 제한적이므로 벌크형 반도체단결정의 성장이 필요하다. 이를 위하여 화학기상수송법(CVT법) 및 용액성장법 등 성장기술의 연구도 빼놓을 수없는 필수 과제라고 생각된다.