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화합물 반도체 기상성장의 열역학

전문가 제언: ○ 최근, 전 세계적으로 정보통신기술의 급진적인 발달로 인하여 이동통신, 위성통신 등 무선통신을 이용한 개인 통신의 수요가 급증하면서 무선통신 서비스의 품질도 다양화, 광대역화 및 고품질화가 요구된다. 또한, 화합물 반도체의 차세대 핵심적 기술로 기대되는 조명용 발광 다이오드의 개발은 실용적 측면뿐만 아니라 기술적인 면에서도 관심이 집중되는 연구 분야로서 급부상할 것으로 예상된다.

○ 이러한 요구에 부응하기 위한 반도체 소자기술로는 고주파 저 잡음, 고출력 소자의 개발 및 소자의 소형화, 경량화, 저 소비 전력화의 개발이 필연적이다. 최근, 화합물 반도체의 박막형성기술은 반도체공정의 정밀화 및 고기능화 방법의 한 수단으로서, 에피택셜 성장기법에 의한 박막 및 필름의 형성을 제어하는 것에 의한 기능의 부여에 관련한 연구가 집중적으로 진행되고 있다.

○ 화합물 반도체의 특징 중 하나는 여러 가지 원소의 화합물을 조합하여 다양한 혼합결정의 성장이 가능하지만, 혼합결정의 조성에 따라서 전기적, 광학적 특성이 좌우되기 때문에 혼합결정의 조성을 엄밀하게 제어하는 기술의 확립은 매우 중요하다.

○ 본 논문에서는 화합물 반도체의 기상성장에 있어서 열역학적 계산에 의해, 성장하는 혼합결정의 조성을 예측하는 방법을 제시한 것으로서 화합물 반도체의 고기능화의 기반인 혼합결정의 조성제어에 매우 유용할 것으로 기대된다.

○ 우리나라의 기업체, 대학 및 연구소에서는 새로운 광 및 전기적 특성을 발휘하는 반도체 재료의 성장제어와 물성 등의 기초적 연구와 실용화 연구가 활발하게 진행되고 있다. 광주 과학기술원에서는 프로토타입(prototype, 시제품) 반도체소자를 개발하여 광소자, 평판 디스플레이 및 나노리소그래피 등의 차세대 정보통신기술의 구현에 필요한 재료로서의 응용을 적극적으로 검토하고 있다.

저자: Akinori KOUKITU ; Yoshihiro KANGAWA ; Yoshinao KUMAGAI ; Hisashi SEKI
자료유형: 학술정보