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적외선 분광 타원편광분석에 의한 유기물 막과 계면층의 분석기술

전문가 제언: ○ 나노기술 또는 미세 전자재료 물질들의 다양한 개발 추세에 따라서, 이들의 융합기술인 유기물 막을 사용하는 전자재료 물질의 제조와 분석을 위한 적절한 특성 분석기술의 개발이 요구되고 있다. 박막의 분석과 측정을 위한 기술로서 ATR, RAIRS 등이 이미 오래 전부터 사용되고 있었으나, 이들은 수평분해능과 감도면에서 나노기술에서 필요한 수준인 수～수십nm 두께의 유기물 막을 측정하고 분석함에는 한계가 있었다.

○ 첨단 광원인 적외선 싱크로트론 방사광을 사용하여 우수한 수평분해능과 단층감도를 가진 박막분석기술의 개발로 IRSE 기술은 기존의 RAIRS와 ATR방법을 보완할 뿐 아니라, 이들로는 얻기 어려운 정보를 얻을 수 있으며, 표면 박막물질의 구조와 계면 층의 변화, 표면의 거칠기, 표면물질의 조성 및 광학적 특성까지도 측정이 가능한 기술들이 개발되고 있다.

○ IRSE로부터 얻은 초 박층 유기 막의 스펙트럼으로부터 단일 층이나 초박막의 두께를 정량적으로 측정함에는 비등방성의 영향, 분자밀도, 충분히 분리될 수 없는 막들의 두께와 같은 해결해야 할 문제들이 남아 있다.

○ IRSE 기술이 균일한 막으로 이루어진 생물체 막의 특성 분석에는 사용할 수 있으나 다중 막이거나 복합 막 또는 원형질 막 같은 불균일 막으로 구성된 대부분의 생물체 막에 활용하기 위해서는 더욱 많은 노력이 필요할 것이다.

저자: Hinrichs, K; Gensch, M; Esser, N
자료유형: 학술정보