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근거리장 음파부양에 따른 비접촉 반송기술

전문가 제언: ○ 고주파 음원을 이용한 부양 장치는 마찰이 없는 비접촉식 이송장치로 고도의 청정도가 요구되는 특수 작업현장에서 판상 물체의 이송에 유용하게 적용될 수 있을 것이다.

○ 음파부양 장치는 이송물체의 저면이 고른 평면일 때 가장 효율이 크기 때문에 저면이 평면인 물체에 한하여 제한적으로 응용이 가능할 전망이다.

○ 진동면의 접촉부에서만 부양효과가 있기 때문에 장거리 이송 콘베이어를 대체하는 데는 문제가 있으며, 이 역시 범용성에 있어서는 제한적일 수밖에 없을 것이라는 전망이다.

○ 고주파 음파는 고에너지를 가진 다이나믹한 종파로써 대상 재질이 깨어지기 쉬운 실리콘웨이퍼 및 LCD 기판용 유리란 점에서 재질에 불필요한 피로 스트레스를 누적되게 하는 등의 문제점으로 운용상 세심한 주의가 요구되며, 고주파 음파는 주변의 기체분자를 여기(勵起)시키므로 고도의 청정 작업장에서 기류의 이상 변화를 일으킬 수 있는 요인이 될 수 있음도 감안되어야 할 사항이다.