기판/박막계면에 있어서 확산과 편석반응을 예측하는 방법(Prediction Method of Diffusion, Segregation and Reaction in Film/Substrate System)

전문가 제언

□ 박막에 의한 코팅과 박막의 적층 재료는 현재 관심이 집중되고 있는 전자산업에 있어서의 재료기술이라고 말할 수 있다. 부식ㆍ내마모 등을 목적으로 한 코팅의 프로세스, 자기기록과 LSI의 전극 등의 기능장치용 적층구조의 제작에 도움을 줄 수 있는 자료이다.

□ 본 자료에서는 기판/박막계면에 있어서 확산과 편석반응을 예측하는 방법을 제시하고 있다. 구체적으로는 기판 위에 박막을 증착시켜 2원계로 형성시키고, 그 위에 다른 박막을 증착시켜 3원계로 형성시킨 후에, 열처리 시에 일어나는 현상을 4개의 형태로 분류하여 분석하는 방법을 종합적으로 파악하고 있어야 한다.

□ 2원계와 3원계에 대한 열확산 편석거동에 대해서 어떤 형태의 확산이 관측되는가? 계면반응이 일어나지 않고 막 표면과 계면에 원소가 열확산 편석하는가? 어떠한 인자에 의해서 결정되는가? 에 대한 전반적인 인자를 분석하여 표면과 계면에 편석이 일어나는 현상을 규명할 수 있어야 한다. 그래서 편석과 계면반응에 의한 결함을 방지하고 막/기판 계면의 품질을 개질할 수 있어야 한다.

□ 기판/박막계면에 열처리에 의해서 어느 형태의 확산이 일어나는가를 예측하기 위해서는 원소와 열처리 효과에 대한 자료와 실증실험에 대한 결과를 종합적으로 수집하여야 한다. 특히 전자현미경을 이용한 박막 표면의 조성변화를 관찰하는 기술을 정착시키는 것이 중요하다.

저자

Michiko Yoshitake

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2005

권(호)

44(2)

잡지명

Bulletin of the Japan institute of metals(N103)

과학기술
표준분류

재료

페이지

119~124

분석자

유*천

분석물

• 기판 박막계면에 있어서 확산과 편석반응을 예측하는 방법.pdf [173,052 byte]

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