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고정밀도 위상해석법의 광학계측 응용

전문가 제언: ○ 트와이만그린 간섭법, 모아레간섭법, 격자 투영법등의 광학적 계측은 형상이나 변형을 나타내는 격자 모양이나 간섭무늬 모양을 카메라로 촬영하여 얻어진 화상을 컴퓨터로 해석하여 형상이나 변형을 요구하는 방법이 널리 행해지고 있다. 이러한 방법을 보다 발전시킨 고정밀의 해석 방법이나 새로운 개발 방법을 소개하고 최근 활발히 연구되고 있는 디지털 holography 간섭법을 소개하고 있다.

○ Aliasing를 간섭무늬의 위상해석에 적극적으로 이용하여 샘플링수를 줄이는 것이 가능하다. Digital Holography의 개발로부터 Holography의 기록간판의 현상처리를 간편하게 이용하게 되었고 CCD카메라와 계산기를 이용하여, 간단하게 Holography가 사용되게 되었다. 그러나 Digital Holography에서는 조면(粗面)에 간섭광이 닿기 때문에 재생면에 speckle이 생기고 이는 정밀도가 좋은 계측이 불가능하게 되었다.

○ 초기위상을 구하는 방법은 삼차원화상으로서 이동 데이터를 사용하고 있기 때문에 극치(極値)를 사용하는 특미량 추출법을 제외하고는 기본적인 정밀도는 좋은 편이라고 할 수 있다. 위상해석을 행하는 것으로부터 대상물의 반사율과 배경광의 밝기 등에 관계없이 정확한 위상을 얻을 수 있기 때문에 정밀도의 해석이 가능하다.

○ Speckle의 영향을 줄이기 위해서는 Holography 간섭법에서 nanometre order의 정밀도를 얻을 수 있다. 위상이동 Digital Holography 간섭법은 실물의 해석에 유용하고 앞으로 급변하게 보급되리라고 생각된다. 기계공업.자동차공업.음향기기공업 비파괴조사와 의학 등, 여러 가지 분야에서 기대되리라 생각된다.

저자: Yoshiharu MORIMOTO ; Toru MATUI ; Motoharu FUJIGAKI ; Yuko YAMAMOTO (etc.)
자료유형: 학술정보