박막 제조에서 진공의 효용

전문가 제언

○ 자타가 공인하는 IT 강국 한국은 박막 제조에 관한 연구를 산업체, 대학 및 연구소 등에서 활발하게 진행되고 있다. 그러나 제조.개발연구에 치중하는 감이 있고, 이 논문과 같은 진공 및 분위기에 대한 연구는 드물다고 생각된다.

○ 박막 제조에 진공은 깊은 관계가 있고, 잔류가스에 의한 불순물의 혼입, 반응 생성물의 형성을 막기 위해서는, 장치를 고진공영역까지 배기하고, 그 후에 필요한 고순도가스를 정해진 압력까지 주입하여 박막 제조를 하는 것이 일반적이며, 이 글에서는 중진공 고순도가스로 충전된 장치 내에서 가스분자의 박막 제조에 미치는 영향에 관하여 알아보기로 한다.

○ 박막 제조에 있어서 요부, 계단 및 도랑 등 그림자 부분에도 균일하게 퇴적시키는 것이 가장 큰 문제로 되어 있는 현실에서 이 글은 이를 해결하기 위한 중대한 제안을 하고 있으며, 실제 산업 현장에서 많이 이용되고 있는 중진공영역에 대하여 관심을 갖고 심도 깊은 논의를 하고 있다.

○ 박막물질의 공급원, 이행과정 그리고 기판 위에서 퇴적하기까지 3단계로 나누어, 각 단계에서 박막물질과 분위기 중의 가스가 미치는 영향과 거기서 발생하는 문제점을 제시하고, 그 해결 방안을 논의하고 있으며, 산업계, 연구소 및 대학의 관련 기술자와 연구원들은 반드시 이 글을 한번 읽어 볼 가치가 있다고 생각한다.

저자

Sadafumi YOSHIDA

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2005

권(호)

40(2)

잡지명

Ceramics Japan(C091)

과학기술
표준분류

재료

페이지

77~81

분석자

최*수

분석물

• 박막 제조에서 진공의 효용.pdf [270,499 byte]

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