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절연체의 저진공/환경적 주사 전자현미경에서 이차 전자 대조

전문가 제언: ○ 시편 실의가스에 압력을 가하여 가스분자를 일차 전자로 이온화시키고 방출된 이온과 시편 및 2차 전지 사이의 상호작용은 독특한 대조 기구를 만들어 낸다. 이 원리에 입각한 저-진공 주사 전자현미경(SEM)은 비코팅, 절연체 시편의 2차 전자 영상을 얻을 수 있는 고-결정능의 분석 기술로 그 원리와 장치의 이해는 앞으로의 더 넓은 이용을 위해 매우 필요하다고 본다.

○ 고체 절연체에 비하여 중간의 유동성을 가진 대전담체를 보유하고 있는 많은 물질들은 동역학적 대조 원인을 제공한다. 영상화조건에 따른 대전공정은 절연체의 전자적 비균질성조건 하에서 공간적 결정정보를 나타낼 수 있게 만들 수 있다는 것이 매우 중요하다. 전자에너지 차와 이온화가스 및 시료 사이의 복합적 상호작용은 독특한 비교 성격을 만들고 이는 영상화에 크게 활용할 수 있다고 믿는다.

○ 대전 대조를 가장 잘 나타내는 물질로는 깁사이트 또는 수산알루미늄이 알려져 있다. 이 입자는 저진공조건이나 높은 캐스케이드 장력의 성장영역에서 정교한 대조가 발생되어 빔의 주사 속도를 충분히 빠르게 하고 이 대조는 주사 속도, 빔 흐름, 작업거리, 음극 편차 및 가스압력에 따라 크게 변한다. 이 민감성은 영상화의 중요한 인자로 활용가치가 매우 높다고 본다.

○ 미래에 예측할 수 있는 또 다른 저진공기술기법 중의 하나는 음극발광이라고 보겠다. 절연체로부터 광학적 광자 발산은 여러 가지 유익한 값진 정보를 제공할 수 있다. 그러나 이 기술은 전통적인 SEM 기술에서는 아직은 대중성이 부족하다. 이 분야에 대한 연구노력에 따라 대전 비교 영상의 결점을 보상하는 다양한 기술이 가능해지기를 바란다.

저자: Thiel, BL; Toth, M
자료유형: 학술정보