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정밀 레귤레이터 소개

전문가 제언: □ 지금까지 정밀 레귤레이터는 테이프나 필름 등을 감는 장치에서의 인장력 조절이나 연마기 등에서의 누름 압력 조절을 위한 저마찰 실린더의 정밀 압력제어 공급기기로 사용되어 왔다. 최근에는 장치의 고정밀도화에 대응한 정밀 레귤레이터의 수요 확대는 물론, 액정, 반도체, 디지털가전 관련 장치의 작업물의 소형화에 따른 손상 방지를 위한 미소 압력의 정밀 제어가 요구되고 있다.

□ 본고는 이와 같은 요구에 부응하여, 일본 CKD(주)에서 개발한 정밀 레귤레이터 RP1000, RP2000시리즈, 그리고 전기신호에 의해 압력을 제어하는 디지털 레귤레이터 EVD시리즈에 대하여 이의 특징을 소개하고 있다.

□ 정밀 레귤레이터 RP1000시리즈의 특징으로는 ① 고정밀도 압력제어 ② 미소 압력 설정 가능 ③ 압력 강하가 작은 안정된 유량 특성 ④ 압력 변동이 작은 안정된 압력 특성 ⑤ 큰 릴리프 유량 ⑥ 유체 통로부의 그리스 미사용 ⑦ 공기 소비량이 적은 에너지 절약형 등이다.

□ 정밀 레귤레이터 RP2000시리즈는 특징으로써 ① 고정밀도 압력제어 ② 긴 수명 ③ 압력 강하가 작은 안정된 유량 특성 ④ 큰 릴리프 유량 ⑤ 고빈도와 고응답 특성 등이다.

□ 디지털 레귤레이터 EVD시리즈의 특징으로는 ① 고정밀도와 고속 응답 특성 ② 오류 표시 기능 ③ 영점 및 스팬 조정 기능 ④ 직접 기억 기능 ⑤ 소형 · 경량 등이다.

□ 향후 반도체, 통신 분야의 성장은 물론 나노, 바이오산업의 발전과 더불어 보다 정밀한 미소 압력제어의 요구는 점차 증대할 것이다. 따라서 여기에 부응한 새로운 방식이나 기술이 진보된 정밀 레귤레이터의 개발이 필요할 것이다.

저자: Yogo T.
자료유형: 학술정보