레이저 SQUID 현미경을 이용한 반도체검사(Laser SQUID Microscope for Semiconductor Testing)

전문가 제언

□ SQUID는 fT 수준의 뛰어난 자기감도 때문에 주목을 받아왔다. 비파괴, 비접촉 계측의 장점도 있다. 그러나 극저온환경이 필요한 초전도체를 사용하고 감도가 높은 만큼 각종 전기․자기적 잡음에 노출되므로 철저한 자기차폐 등 사용상에 어려움이 많다. 인간의 몸에서 발생하는 전기적 신호를 측정하여 심장이나 뇌의 활동, 간질병과 같은 질병의 진단 등에 제한적으로 응용되었다.

□ SQUID의 높은 감도와 레이저의 뛰어난 집광성을 결합한 레이저 SQUID현미경은 SQUID를 저온환경으로 유지해야하므로 실온 중에 위치한 시료접근에 어려움 때문에 일어나는 공간분해능의 저하를 획기적으로 향상시키는 장점이 있다. 또한 고온초전도 SQUID의 개발은 액체질소를 냉매로 사용하거나 또는 저온냉동기를 사용하여 아예 냉매를 보충해 줘야하는 번거로움 없이 전기만 연결하면 사용할 수 있으므로 응용범위가 넓어졌다.

□ 이 장비는 레이저에 반응하는 물리적 특성을 가진 시료에만 사용할 수 있는 데 반도체의 광전효과를 이용하면 소재, 소자, 칩 등 전자공학의 바탕이 되는 반도체의 모든 생산과정에 응용할 수 있다. 비파괴, 비접촉 방법이므로 생산 공정 중에도 사용이 가능하므로 기존의 검사방법보다 우수하다.

□ 국내에서는 대학을 중심으로 고온초전도 SQUID현미경에 대한 연구가 일부 수행되고 있다. 레이저 SQUID현미경이 반도체검사에 광범위하게 사용될 경우에 대비하여 기업연구소에서도 관심을 갖고 본격적인 연구를 시작할 때가 되었다고 판단한다. 반도체생산에는 세계 최고수준이나 생산설비는 아직도 수입에 의존하는 부분이 많은 우리나라로서는 전자공학 선진국의 위치를 계속 유지하는데 필요한 연구과제 중 하나이다.

저자

M. Daibo

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

기초과학

연도

2005

권(호)

29(1)

잡지명

일본응용자기학회지(B192)

과학기술
표준분류

기초과학

페이지

14~19

분석자

박*철

분석물

• 레이저 SQUID 현미경을 이용한 반도체검사.pdf [187,817 byte]

이미지변환중입니다.