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첨단기술정보

소프트 리소그래피의 최근의 진전(recent progress in soft lithography)

전문가 제언: □ 소프트리소그래피는 표면에 요철 구조가 있는 폴리디메틸실록산(PDMS) 고무 스탬프를 이용하여 30nm~100μm 크기로 2~3차원의 구조를 패턴화 하는 것이다.

□ 프리폴리머의 PDMS는 Tg가 낮아서 상온에서 액상이며 가교를 하면 고상이 된다. 말단 비닐기의 PDMS계 액상고무인 프리폴리머(Dow Corning, Hüls America)와 메틸하이드로실록산/디메틸하이드로실록산의 공중합 프리폴리머에 백금계 촉매를 혼합한 경화제 이액형의 재료를 요철표면의 마스터에 붓고 가열 가교 후 벗기면 고무 스탬프가 된다.

□ 가교반응은 백금계 촉매를 이용하여 비닐기(SiCH=CH2)와 하이드로실란(SiH)기 사이의 하이드로실릴화 반응으로 가교되는 것이다.

□ PDMS 스탬프에 알킬티올 잉크를 묻히고 금 박막 기판 상에 인쇄하면 치올기의 작용으로 알킬기는 금 표면에 결합하고 이후, 에칭 또는 다른 성분의 유기물의 특성을 이용하여 최종 패턴화 한다.

□ 소프트리소그래피는 마이크로 및 나노 공정에서 자기조립 및 복제 성형에 기반을 둔 리소그래피로써 나노 및 마이크로 구조를 형성하는데 편리하고 효율적이며 비용이 적게 드는 방법이다. 이 글에서 소개된 회로인쇄 기법을 응용하는 사람에게 도움이 될 것으로 생각한다.