피드백 화학과 차세대 포토레지스트((Functionality of Materials based on Causality Chemistries 11) Practical Feedback-chemistry)

전문가 제언

□ NT, BT, IT는 신기술, 신제품, 신산업, 깨끗한 환경 등을 이룩하는데 첨병역할을 하고 있다. 그런데 이들 기술이 발전하는데 있어 공통적인 디딤돌 역할을 하는 것이 고기능성 재료이며 이는 모든 기술과 제품은 좋은 재료를 필요로 하기 때문이다. 나노의 실체는 새로운 기능을 갖는 극미세 입자이며 이는 곧 고기능성 재료를 의미한다. BT의 실체는 생체 적합성 또는 생리활성 기능을 갖는 재료의 지능적 활용을 의미하며 이도 고기능성 재료의 활용을 의미한다. 이러한 의미의 고기능성 재료에 있어 가장 다양한 가능성을 내포한 것이 고기능성 고분자 재료이다. 그 이유는 고분자에 있어서는 나노보다 한발 앞선 분자 수준에서 재료를 설계할 수 있기 때문이다.

□ 초미세화를 지향하는 IT에 있어서도 마찬가지 이다. 반도체의 초미세화, 초고집적화를 위해서나, 디스플레이 제품의 고해상도화, 고선명화, 고응답화 등에 필요한 새로운 광학적, 전자적, 기계적 기능을 가진 고기능성 고분자 재료가 핵심재료로 개발되어 사용되고 있다. 이들 IT용 고기능성 고분자 재료 중에서 반도체용 초미세 회로를 실리콘 웨이퍼에 식각하는데 핵심역할을 하는 감광성 재료인 포토레지스트의 고감도화에 있어 피드백 화학 개념에 근거한 첨단 고분자 재료 연구를 소개한다.

□ 우리나라에도 NT, BT, IT 기술이 국책연구사업으로 추진되고 있어 그러한 연구사업 속에 고기능성 고분자 재료 연구 과제가 대단히 많이 포함되어 있다. 재료 기술은 많은 분야에 공통으로 사용되는 횡적인 개념의 기술이기 때문에 많은 분야에 녹아들어가기 마련이다. 횡적인 시각에서 국책연구사업 전체를 분석하기 전에는 그 실체를 알 수 없기 때문에 국가 차원에서 한번은 분석 평가해 보아야 할 것이다.

저자

Kunihiro Ichimura

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2005

권(호)

25(1)

잡지명

기능재료(D323)

과학기술
표준분류

재료

페이지

62~72

분석자

강*광

분석물

• 피드백 화학과 차세대 포토레지스트.pdf [230,656 byte]

이미지변환중입니다.