광갈바노 분광법에 의한 방전 플라스마 속의 음이온 계측(Optical Measurement of Electrical Discharge Phenomena at Atmospheric Pressure)

전문가 제언

□ 방전 플라스마는 낮은 온도에도 불구하고 화학 반응성이 풍부하여, LCD 및 반도체의 기능성 박막을 비롯하여, 회로소자 등 전자 부품의 성형에 있어서 필수불가결한 요소이며, 최근에는 나노 규모의 초미세 가공이나 대규모 LCD의 가공 공정에도 실용화가 되고 있어, 방전 플라스마 속의 화학종의 조성ㆍ분포에 대한 계측과 감시의 중요성이 더해가고 있다.

□ 이 목적으로 방전 플라스마의 진단 기술이 발전하여 왔으며, 최근에는 화학 반응성을 이용하여 대기압 방전 플라스마가 공기 정화나 살균에도 응용되고 있다. 그러나 공기청정기는 방전에 의해 생성된 화학종을 포함한 공기가 인체에 직접 노출되기 때문에, 인체에 대한 안전성을 확보하기 위하여 플라스마 속의 이온 종류 등 화학적 측정을 할 필요가 있다.

□ 레이저를 이용하여 플라스마를 진단하는 방법은 광검출기와 분광기를 이용하는 흡수법, 레이저 유기 형광 분석법, 발광 분석법 등 다양한 기법이 개발되거나 개발 중에 있으며, 이들은 각각 장점과 단점이 있다. 이에 비하여 광갈바노 분광법은 외부로부터 조사된 광에 의해 플라스마의 상태 변화를 방전 전류의 변화로 관찰할 수 있다.

□ 현재 시중에 많이 팔리고 있는 공기청정기 가운데 코로나방전을 이용하여 플라스마를 생성하여 OH와 같은 음이온 클러스터를 발생시키는 공기청정기가 주종을 이루고 있으며, 이 플라스마 속의 음이온 계측에 광갈바노 분광법의 활용이 기대되며, 방전 플라스마 속의 음이온뿐만 아니라 오존과 같은 인체 유해물질의 규명에도 보다 적극적으로 사용하여, 공기청정기와 관련된 논쟁을 불식시킬 수 있어야 한다.

저자

Masateru NISHIOKA

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2004

권(호)

28(6)

잡지명

정전기학회지(A503)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

291~296

분석자

이*근

분석물

• 광갈바노 분광법에 의한 방전 플라스마 속의 음이온 계측.pdf [167,430 byte]

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