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첨단기술정보

부유전극을 이용한 다층 액추에이터의 설계와 제조(Design and fabrication of multilayer actuator using floating electrode)

전문가 제언: □ 다층 액추에이터는 작은 체적, 빠른 응답, 저 소비전력, 그리고 낮은 구동전압으로 인해 주요 관심의 대상이 되고 있으나, 전극주변에서의 내부 응력, 크랙, 그리고 다층으로 쪼개지는 형상은 주요 연구분야로 인식되고 있다.

○ 하지만 부유전극을 사용한 다층 액추에이터의 장점이 우수하다고 하더라도 전극내부의 크랙발생문제와 응력의 집중현상을 해결하지 않고서 초소형 시스템에 적용하는 것은 상당히 주의 깊은 고찰을 요구한다.

□ 이 기술의 연구 개발은 초소형 MEMS, NEMS 디바이스를 비롯하여 각종 스위치 등에 다양하게 응용하여 접목이 가능한 부유전극에 관한 것으로써 위에서 열거한 장점을 유지하면서 전극의 내부 크랙의 발생이나 응력의 집중을 줄이는 기술을 연구한다면, 소형전자부품산업 및 기계부품에 적용이 가능할 것이다.

○ 따라서 본 기술 연구는 기존의 다층 액추에이터의 애로사항을 해결하고 미세하게 작동하는 수~수십 마이크로 단위의 층에 대해 응력집중, 크랙 발생을 연구함으로써, 현재 국가에서 지속적으로 연구 개발을 위해 노력하고 있는 분야인 마이크로 및 나노 테크놀로지의 수준 향상에 크게 이바지 할 것이다.