RF MEMS의 집적화 기술(Integration of RF MEMS)

전문가 제언

□ MEMS기술은 초소형, 고성능화를 충족시킬 수 있는 최첨단 미세가공기술이다. 반도체 제조공정 기술을 이용한 전자요소와 미소 기계요소를 접목한 시스템화 기술이며, 초소형 대상물뿐만 아니라 초소형 대상물을 만드는 가공기술을 포함하고 있다.

□ MEMS기술은 21세기를 주도할 첨단 핵심기술로서 미국, 유럽, 일본 등 국가에서는 국가적인 차원에서 관련 기술개발을 위해 일찍이 대형 연구개발 프로젝트를 추진하는 등 기술선점을 확보하기 위해 국가 간 치열한 경쟁을 벌이고 있다.

□ MEMS기술은 실리콘 압력센서를 이용한 자동차 엔진제어용 센서 등에 활용되면서 시작되었으며, 현재 실리콘 입력센서 업체를 중심으로 발전하여 많은 벤처기업이 파생되었다. MEMS기술의 응용분야는 자동차 시장을 비롯하여 정보통신용기기, 가전기기, 광통신기기 등 다양하다. 최근 광학 부품기술과 MEMS기술을 접목한 MOEMS, 통신부품 기술과 MEMS기술을 접목한 RF MEMS, 의료 및 생체응용을 위한 Bio MEMS 등으로 세분화되어 연구가 진행되고 있다.

□ MEMS기술은 실리콘 혁명 이후 가장 유망한 미래 기술로 주목받고 있다. 앞으로 반도체산업은 순수한 집적도 증가보다는 다기능화의 방향으로 발전할 것이다. 즉, 단순한 회로소자로서가 아니라, 감지, 조작, 처리, 통신 등 기능을 수행하는 SoC형태로 진전될 것이며, 이를 가능하게 하는 핵심기술이 바로 MEMS이다.

저자

Tamotsu NISHINO

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2004

권(호)

87(11)

잡지명

전자정보통신학회지(A104)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

934~938

분석자

장*석

분석물

• RF MEMS의 집적화 기술.pdf [172,167 byte]

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