MEMS를 이용한 새로운 고주파기술(RF MEMS : (2.1) Review of RF MEMS Technologies)

전문가 제언

□ MEMS 기술은 초소형, 고성능화를 충족시킬 수 있는 최첨단 미세가공 기술이다. 반도체 제조공정 기술을 이용한 전자요소와 미소 기계요소를 접목한 시스템화 기술이며, 초소형 대상물뿐만 아니라 초소형 대상물을 만드는 가공기술을 포함하고 있다.

□ MEMS 기술은 21세기를 주도할 첨단 핵심기술로서 미국, 유럽, 일본 등 국가에서는 국가적인 차원에서 관련 기술개발을 위해 일찍이 대형 연구개발 프로젝트를 추진하는 등 기술선점을 위해 국가간에 치열한 경쟁을 벌이고 있다.

□ MEMS 기술은 실리콘 압력센서를 이용한 자동차 엔진 제어용 센서 등에 활용되면서 시작되었으며, 현재 실리콘 압력센서 업체들을 중심으로 발전하여 많은 벤처기업이 탄생되었다. MEMS 기술의 응용분야는 자동차 시장을 비롯하여 정보통신용기기, 가전기기, 광통신기기 등 다양하다. 최근 광부품 기술과 MEMS 기술을 접목한 MOEMS, 통신부품 기술과 MEMS기술을 접목한 RF MEMS, 의료 및 생체응용을 위한 Bio MEMS 등으로 세분화되어 연구가 진행되고 있다.

□ MEMS 기술을 고주파 대역에서 응용함으로써 광대역화, 저손실화, 고기능화 등을 실현할 수 있는 RF MEMS 기술의 연구가 활발하며, RF MEMS 기술을 실장기술에 응용하려는 연구개발도 본격화 된지 오래이며, 앞으로 머지않아 RF MEMS의 완전한 실용화가 실현될 것으로 기대된다.

저자

Koji MIZUNO

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2004

권(호)

87(11)

잡지명

전자정보통신학회지(A104)

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

919~924

분석자

장*석

분석물

• MEMS를 이용한 새로운 고주파기술.pdf [171,982 byte]

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