MBE에 의한 에피택셜 MgO 다층막(MgO Composed Superlattices and Spinel-type Ferrite/MgO Multilayers Grown Epitaxially by MBE)

전문가 제언

□ 일부 이원 합금의 경우 고온에서는 서로 다른 종류인 원자가 단위격자 속의 특정 복수의 원자 위치를 무질서하게 차지하고 있지만 저온에서는 원자가 일정한 규칙에 따라 질서 있게 배열하는 결정구조를 가지는 초격자구조가 된다. 초격자에서는 그렇지 않는 격자보다 단위격자가 크기 때문에 X선 회절에서 새로운 회절선이 나타난다.

□ 초격자의 생성과 소멸을 질서-무질서 전이라 하고 대부분은 제2차 전이이다. 전이온도 이상에서도 완전히 무질서한 것은 아니고 짧은 거리에서는 단거리 질서도가 남는다. 최근 증착법이 발전함에 따라서 AlAs-GaAs 등과 같이 두 가지 반도체의 초박막을 교대로 반복과 증착으로 인공초격자 구조를 만들어서 초격자소자 개발에 활용되고 있다.

□ 에피택시얼(epitaxial)은 epi=an, taxy=arrangement라는 의미에서 결정 위에 그 물질의 융점보다 낮은 온도로 같거나 비슷한 결정구조를 지닌 결정이 기판에 맞추어 규칙적으로 배열되는 것을 말한다. 이 방법을 이용하면 낮은 비저항층 위에 그것보다 비저항이 높은 층을 배열할 수 있기 때문에 우수한 트랜지스터 등을 제작할 수 있다.

□ 자성결정의 정점을 가시로 생각해서 라틴어로 작은 가시라는 의미의 스피넬라에서 유래된 스피넬(spinel)은 화학조성식이 MgAlO인 광물이다. 첨정석이라고 하며 부성분이 Fe, Mn, Zn, Ti, V 및 Cr이며 자체형성 결정은 정팔면체를 기본으로 하고 이것을 기본체로 하여 반복쌍정(스피넬 쌍정)을 만드는 것도 있다. 스피넬형 구조는 ABX가 되는 금속원소의 복산화물이나 복황화물에 나타나는 전형적인 결정구조이다.

□ 본 연구는 MBE(molecular beam epitaxy)법으로 MgO를 이용한 금속/산화물의 초격자에 관한 연구와 스피넬(spinel)형 페라이트를 MgO상에 에피택셜 성장시킨 박막구조와 자성에 대해 설명하고 있다. 스피넬 형 페라이트의 에피텍셜 다층막은 금속과 비자성 산화물의 에피텍셜 초격자 제작기술과 조합하면 많은 디바이스 재료를 제작할 수 있다. 또한 MgO나 Ti 등에 자철광(magnetite)을 조합시키면 다양한 에피택셜 다층막을 제작할 수 있다.

저자

T. Kado

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

화학·화공

연도

2004

권(호)

28(12)

잡지명

일본응용자기학회지(B192)

과학기술
표준분류

화학·화공

페이지

1130~1135

분석자

오*섭

분석물

• MBE에 의한 에피택셜 MgO 다층막.pdf [184,363 byte]

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