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첨단기술정보

투과형 전자현미경에 의한 분사피막의 미세구조관측(Microstructural Exammination of Spray Coating by Transmission Electron Microscopy)

전문가 제언: □ 조직의 형태와 결정구조를 파악하기위해 투과형전자현미경(TEM)을 많이 사용한다. 실물박막의 표면과 내부의 격자결함의 마이크로 구조정보를 조직관찰과 함께 결정의 방위와 구조해석까지 가능하기 때문이다.

□ 실물박막을 관찰할 때 얻어지는 상을 해석함에 있어서 전자현미경 상의 대부분이 회절 콘트라스트라는 점을 유의할 필요가 있으며, 이는 한 매의 전자현미경 사진기록을 관찰시 회절조건에 따라 결과가 크게 달라지기 때문에 관측결과를 오판할 수가 있다. 이런 이유로 TEM을 이용할 때는 회절 조건을 변경해 여러 매의 사진을 촬영할 필요가 있다.

□ 원래 현미경은 국소부분을 확대해 보기위한 도구이지만, 부분이 전체를 대표한다고 보기는 어렵다. 균일 분포를 가지는 시편이 아니라면, 자칫 한 곳의 잘못된 관측이 전체를 오판하는 결과를 불러올 수도 있기 때문이다. 모든 고배율 현미경에 공통된 현상이긴 하지만, 다양한 정보를 얻을 수 있는 TEM의 관찰로 얻어지는 화상정보도 매우 좁은 국소영역에 한정된다. 그러므로 시료전체를 이해하고 올바른 분석을 하기 위해서는 광학현미경과 SEM 및 X선 등 폭넓은 영역의 관측법이 함께 병용되는 것이 효과적인 방법이라 사료된다.