MEMS에 이용되는 자성재료(磁性材料)

전문가 제언

□ 국내에서도 MEMS는 잘 알려져 있고 많은 제품이 생산되고 있다. 그러나 여기에 부가적인 기능을 더하기 위하여 자석MEMS(MagMEMS: magnetic microelectromechanical system)가 등장하여 새로운 분야를 개척하고 있다. 이미 백화점이나 쇼핑 몰에서 주요 상품의 도난을 방지하기 위하여 이 기술을 응용한 태그가 활용되는 단계에 있다. 청각 임플란트(implant)와 같은 정밀한 제품이 개발되는 단계에 들어서고 있다.

□ 이러한 MagMEMS가 그만이 갖는 특성 즉 시스템을 무선형태로 구성할 수 있으며 또 자기적(磁氣的) 요소는 유도 결합, 유전율 또는 변위, 압력 등 측정요소의 함수가 되는 공진 주파수로 지령을 받을 수 있는 장점을 가지고 있다. 뿐만 아니라 MagMEMS는 반드시 실리콘기판 위에서만 구조물을 만들 필요는 없다. 다른 재료를 사용하여 광 석판인쇄 기술을 이용하여 패턴을 얻을 수 있는 장점도 가지고 있다.

□ 현재의 기술 상태를 보면 이방성자기저항(AMR) 또는 GMR에 기본을 둔 상용 자기저항 센서는 시장에 보급되고 있다. 데이터 저장용 헤드에는 스핀밸브형이 선정되고 있으나 거대마그넷임피던스(GMI)나 MagMEMS 박막 플럭스게이트를 사용하여 만든 주된 상품은 없다. 반면 반도체 Hall효과를 이용하는 상품은 수 없이 많으나 감도에 의해서 제한되고 있다. 이들은 칩 위에서 쉽게 시스템을 집적할 수 있지만, 자성재료의 열적 취약성과 경년변화를 고려할 때 자성재료의 사용은 그 신뢰성에서 충분히 검토되어야 할 것이다.

□ 자석식이 아닌 MEMS에 기초한 압력센서는 1955경 제안되었지만 완전히 상품화된 것은 1990년경이었다. 완전한 제품으로서 실용화의 길이 얼마나 어려운 것인가를 단적으로 말해주고 있다. 선진국으로 가려면 개발은 계속되어야 한다. MagMEMS의 응용에 대한 기대는 크다. 우리의 연구 또한 자기터널접합(magnetic tunnel junction)이나 자기탄성재료(magneto- elastic materials)와 같은 재료개발에 관심을 가져야 할 때이다.

저자

Gibbs, MRJ; Hill, EW; Wright, PJ

자료유형

원문언어

영어

기업산업분류

기초과학

연도

2004

권(호)

37(22)

잡지명

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS

과학기술
표준분류

기초과학

페이지

237~244

분석자

양*덕

분석물

• MEMS에 이용되는 자성재료(磁性材料).pdf [200,469 byte]

이미지변환중입니다.