주사전자현미경을 이용한 세라믹과 유리의 나노 크기 응력 해석(Nanoscale Stress Analysis of Ceramics and Glasses Using the Scanning Electron Microscope)

전문가 제언

□ 전자현미경은 주사형과 투과형에서 미세한 구조에 대한 시각화와 분석적인 데이터를 제공하는 면에서 최고의 정보를 준다. SEM의 시그널은 2차전자상(topography)에서 시작하여, 원자의 종류에 따른 조성상(conformation), 특성x-선을 이용한 EDX, WDX 등 많은 정보를 제공하고, 전자현미경만이 갖고 있는 매우 작은 공간분해능과 깊은 초점심도가 앞의 많은 정보를 더욱 가치 있게 하여 준다.

□ 세라믹이나 유리를 이용한 미세한 디바이스에서 응력분포는 많은 문제점들을 야기 시키므로, 응력분포를 정성, 정량적으로 알아내고, 시각화하는 것은 매우 의미 있는 전개라고 생각된다. CL의 특성 상, 전자의 확산이 어느 정도 일어난 다음이기 때문에, 2차 전자상과 같은 공간분해능은 불가능하여도, 응력분포를 가시화하고, 정량화할 수 있다는 관점에서 매우 의미가 있다.

□ CL상을 관찰하려면, 어느 정도 이상의 전자현미경인 경우는 부착이 가능하다. CL상은 특수한 경우에만 관찰할 필요가 있고, 상만을 관찰하는 경우와 상으로부터 정량화를 하는 경우는 별도의 스펙트로메터가 필요하다.

□ 국내에는 반도체소자, 광학재료, 광물자원 등을 다루는 대학과 연구소에 CL이미지/스펙트로메터가 여러 곳에 보급되었으나, 대부분은 CL이미지를 관찰하는 목적에 많이 활용하고 있다. 재료를 좀 더 깊게 연구하려면 정량화가 필요하므로 앞으로 더 많은 활용이 요구된다.

□ 첨단 소자를 갖고 경쟁하는 최근의 상황에서 좀 더 자세한 논의가 필요하지만, 현재 일부 기술은 특허가 된 사항이므로 조만간 더욱 많은 자료가 공개 가능하리라 생각이 되고, 공개되는 자료를 통하여 현장에 좀 더 많은 적용이 가능하리라고 본다.

저자

Giuseppe Pezzotti

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2004

권(호)

39(11)

잡지명

Ceramics Japan(C091)

과학기술
표준분류

재료

페이지

935~939

분석자

임*산

분석물

• 주사전자현미경을 이용한 세라믹과 유리의 나노 크기 응력 해석.pdf [234,629 byte]

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