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첨단기술정보

엄지손가락 크기 전자 현미경의 연구 개발(Development of the Finger-sized Ultra-small Electron Microscope)

전문가 제언: □ 전자 현미경은 현대의 첨단 산업에서는 가장 중요한 측정 장치 중 하나이다. 그러나 이 장치는 고가이므로 설치나 운영에 있어서 비용이나 장소 등에 어려움이 있었다.

□ 국내에서도 전자 현미경은 현재 약 1,500대 이상이 설치되어 운영되고 있으나 가동률이 상당히 떨어질 것으로 예측되고 있다. 그러나 국내의 일부 제조업체에서 전자현미경을 생산해서 외국에 대량 수출하고 있어서 이 분야에서는 국내도 상당히 기술면에 있어서는 앞서 있다고 사료된다.

□ SEM은 주로 6가지 부분으로 구성되어 있으며, 그 중 가장 중요한 것이 전자 광학계와 칼럼 부분에 재료 및 고저항 전도성 성질을 갖는 것이다. 칼럼 부분을 세라믹으로 채택해서 소형으로 제조하는 데 이 연구의 목적이 있다.

□ 알루미나 세라믹은 가공성이나 가스 투과성, 고저항 전도성 등에 있어서 우수한 성질을 가지고 있어서 이 알루미나 세라믹을 이용해서 칼럼을 제조하는 것이 가장 쉬운 방법으로 생각된다.

□ 국내에서도 소형 전자 현미경 연구와 생산 분야의 세라믹 기술자들이 연구와 제조에 참여해서 공동 노력을 하면 신제품 개발에 상당한 기여를 할 수 있을 것으로 본다.