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진공기기·장치와 박막성형 기술

전문가 제언: □ 진공 기술 · 진공 기기는 현대 산업의 핵심 요소 기술과 장치로 차지하는 비중은 매우 크다. 예를 들어 반도체 디바이스, 칩 사이즈 패키지, LCD · PDP · FED 등의 전자 디바이스, 전자 결합 소자, 광자기 디스크, 광 스위치, 반사경 등 전자 · 통신용 디바이스 생산 공정에는 진공 장치가 필요하다. 이 외에 에너지 · 환경 관련 분야에서 플라스마 CVD 장치, 스퍼터링 장치, 진공증착 장치 및 이온 플레이팅 장치, 재료 분야에서 진공 정밀 주조, 진공 열처리, 진공 용해, 형상 기억 합금, 고융점 금속, Ti 합금 정밀 주조 및 자성 재료 등 진공 기술 응용 분야는 광범위하다.

□ 최근 국제적으로 연구 붐이 조성되고 있는 나노 기술의 연구에 있어서 필수적 시스템인 주사탐침 현미경(SPM), 원자력 현미경(AFM; Atomic Force Microscope) 등에도 초고진공 기술이 응용되고 있다.

□ 진공 기술을 응용하는 장치들은 여러 종류가 있으나, 근래 표면 증착 기술과 함께 고가 · 고정밀을 특징으로 하는 선진국 중심의 산업 기술로 정착되어 왔다. 특히, 일본은 우리나라를 포함한 개도국과 선진국의 진공 장치 공급기지가 될 만큼 기술과 산업이 정상 수준에 이른다. 2003년 일본진공공업회 소속 90사의 매출액은 전년도보다 27% 증가한 3,323억엔, 수출은 1,411억엔 규모이다.

□ 국내의 진공 기기 산업은 범용제품 중심이다. 고진공, 초공진공의 경우, 한국알박(주)(ULVAC Korea Ltd) 등과 같이 일본 메이커 대리점 형태의 공급 패턴이다. 따라서 초고진공 표면 증착 연구나, 현재 국책사업으로 추진되는 나노 연구를 위한 초고진공 시스템, 자성 박막 연구를 위한 초고진공 증착 시스템들은 대부분 수입에 의존하고 있다.

□ 국내 연구진은 지난 1980년대 후반에 초고진공을 포함한 극한기술개발사업을 추진하여 기반 기술을 축적한 바 있고, 표면 공학의 수요 증대와 더불어 최근 많은 응용 연구가 진행되어 왔다. 관련 기기의 국산화 촉진과 더불어 응용 기술 잠재력을 보다 향상시키기 위한 지원이 필요한 분야이다.

저자: Editorial Dept.
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