플라스마 증착에 의한 Ga첨가 산화아연 도전박막(Transparent Conductive Ga-doped ZnO Thin Films Prepared by Reactive Plasma Deposition Method)

전문가 제언

□ 이 글은 일본 저자 Teysuya Yamamoto씨 외에 9명이 공동으로 집필한 논문이며 기능재료, Vol.24, No.9 (2004)에 “Material Report R&D"시리즈로 발포한 내용이다. 참고문헌은 거의 일본저자의 것을 인용하였다.

□ 단파장 영역에서 LED가 ZnO 단결정에서 발견된 것은 1980년대 전후이다. 러시아 과학자 Khadzi Valentir가 ZnO의 단결정을 수열방법으로 2x3x1cm3의 크기로 만드는데 성공하였으나 그것을 이용하는 데는 여러 여건에서 실패한 것으로 알고 있다.

□ 이 논문에서 플라스마를 이용한 증착법해서 Ga을 첨가한 ZnO 박막을 사방 1m의 크기의 것을 가시광선 영역 투과율 90% 이상의 박막제조에 성공하였다면 기술면에서나 첨가제의 선정, 제조공정의 설계 등에서 볼 때 큰 성과라고 할 수 있다. 그리고 ZnO 즉 아연화라고 하는 화합물은 SiO2 규석과 같이 지상에 풍부하게 존재하는 물질이다. 흔한 원료에서 첨단물성을 발현시킨 연구의 업적은 높이 평가 할만 하다.

□ 박막을 만드는 길은 다양하다. 요사이 많이 이용하는 방법이 선구물질을 열분해하는 방법, 도포방법, 전해방법. 수열방법 등 여러 가지가 있고 또 ZnO 단결정을 직접 이용 하는 방법도 있는데 왜 시설비용이 엄청나게 많이 드는 플라스마 방법을 선택했는지는 궁금하다. 그리고 여기에 관한 언급은 하지 않고 있다.

□ ZnO에 대한 광학적인 특성은 오래전에 알려져 있기 때문에 이것이 가시적인 생산규모로 닥아 온 것은 응용과학 분야에서 획기적인 변화로 볼 수 있다. 멀지 않은 장래에 고 품위의 광학성능을 우리가 아연화에서 찾게 되고 또 그것을 이용하게 될 것으로 생각한다.

저자

Tetsuya Yamamoto ; Seiichi Kishimoto ; Keigo Ikeda ; Toshiyuki Sakemi

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2004

권(호)

24(9)

잡지명

기능재료(D323)

과학기술
표준분류

재료

페이지

44~54

분석자

박*학

분석물

• 플라스마 증착에 의한 Ga첨가 산화아연 도전박막.pdf [176,683 byte]

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