파워 MEMS의 현황(recent Adancement in Power MEMS)

전문가 제언

□ 우리나라에서는 로봇에 관심이 많으며, 그 개발이 활발한 실정에 있다. 자주적 로봇에는 계속적 동력공급이 큰 걸림돌이 되고 있다. 그런 뜻에서 파워 MEMS 기술의 로봇 응용은 매우 중요한 것 같다. 근년 급성장하고 있는 자립형의 로봇에서는 다수의 서보모터를 구동할 수 있는 비교적 큰 전류를 장시간 공급할 수 있는 경량 전원의 수요가 앞으로 예상된다. 현재 널리 사용되고 있는 2차 전지는 출력밀도는 높으나, 에너지밀도가 낮고 로봇의 활동 범위가 한정되어 있기 때문에, 앞으로 MEMS 기술에 의한 로봇용 마이크로 연료전지의 개발이 크게 기대된다.

□ 또한 우리나라에서 응용의 대상이 되는 것의 하나는 열전발전에 의한 모나터링용 센서의 개발이다. 열전발전은 열전대의 양단에서의 온도차에 의해 발전하는 방식이며, 현재는 효율이 낮으나 간단한 구조이고, 열낙차를 이용하여 발전할 수 있기 때문에 모니터링 센서용 분산전원 등으로 세계적으로 연구되고 있다.

□ 특히 가스터빈 등의 열기관에서는 그 신뢰성 향상 및 보수유지비의 감축을 위해 항시 기관 상태를 상세히 모니터링할 필요가 있으며, 이들의 모니터링용 센서의 전원으로서 열기관 주위에서 버려지는 열을 이용한 열전발전이 유용하다. 그 밖에 여기서는 언급이 없지만, MEMS 기술을 융합한 마이크로 플로(flow) 센서의 개발도 꼭 필요한 기술이다. 마이크로 플로 센서는 실리콘 마이크로 머시닝 기술과 박막기술에 의해 제작되는 것으로, 고감도, 고응답, 소형, 저소비 전력 등의 장점을 가지고 있은 뿐만 아니라, 종래의 기체 유속계가 체적 유속인 것에 대해 이것은 질량유속의 측정이 가능한 것이다.

저자

Kousuke Isomura

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

에너지

연도

2004

권(호)

32(2)

잡지명

터보기계(B517)

과학기술
표준분류

에너지

페이지

65~72

분석자

차*희

분석물

• 파워 MEMS의 현황.pdf [179,681 byte]

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