질량유량 제어기의 기술 변천과 전망 / H 금속의 MFC 기술 변천과 향후대책

전문가 제언

□ 반도체 디바이스를 미세정밀화하고 유보율을 향상하기 위해서는 정전기제거와 도전율이 낮은 동선 등으로 다층구조 등이 필요한 것과 같이, 프로세스 가스공급량을 1%이하의 오차로 유량을 신속하게 제어 할 수 있는 제어기 기술이 병행되어야한다.

□ 전기저항치를 이용하여 가스의 질량을 제어하는 질량유량제어기(MFC)를 수입에 의존하여 왔으나, 우리나라에서도 MFC가 개발되어 전량 수입하던 것이 곧 국산MFC로 대체될 희소식이 전하여 지고 있으며, 4000억규모의 세계시장으로 수출도 기대된다.

□ 일본의 H금속은 1980년부터 장기적인 기술개발로 고온용, 미세차압형, 2중 범위형 그리고 결합형(hybrid type)등 다양한 사양의 MFC들로 기술을 선도하고 경쟁력을 과시하고 있다. Ni-Co합금의 특수재질의 다이야프램과 구동 자의 반복기구를 개발 사용하므로, 고장이 적고 분진이 발생되지 않아 신뢰성이 높고, 결합형은 제어유량의 범위가 크고 신속하게 제어되는 것이 특징이다.

□ 가스관에서 발생되는 미세압력에도 영향을 받지 않고 광범위한 유량에서 오차없이(1%이하) 신속하게 제어할 수 있는 구조와 재질 그리고 고온에서 사용할 수 있는 큐리온도가 높은 코어소자 개발 등이 지속되기를 희망한다. 이제는 부품의 첨단기술로 수익성을 높혀 나가야 할 것이다.

저자

Kawashima Masawaru

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

환경·건설

연도

2003

권(호)

13(11)

잡지명

Clean technology(N272)

과학기술
표준분류

환경·건설

페이지

20~24

분석자

박*서

분석물

• 질량유량제어기의변천과전망.pdf [176,448 byte]

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