유체 마이크로 액추에이터(Fluid Microactuators)

전문가 제언

□ 마이크로영역에서 이용되는 액추에이터는 높은 파워밀도와 우수한 조작성능이 요구된다. 마이크로 머시닝에 의한 가공성이라는 점에서 보면 정전형(靜電型)이 유리하지만, 고체재료 간의 접동부(摺動部)에서 마이크로화에 의한 표면가공정도와 표면력이 증대하고, 3차원구동의 용이성, 파워밀도가 높은 점을 고려할 때 유체동력구동이 보다 유리한 것으로 평가된다.

□ 일본 Tokyo공업대학 정밀/지능연구그룹이 연구 중인 유체 마이크로 액추에이터는 기능성 유체가 갖는 파워에 의해 마이크로 머신 등 특정 마이크로 디바이스와 시스템의 구동가능성을 확인하고 최근에 응용연구가 활발히 진행되고 있는 분야이다.

□ 기능성 유체란 전계나 자계에 의해 유체의 점도를 제어하거나, 직류전압인가로 제트류를 발생시켜 전기신호로 특유의 기능을 발생시키는 유체를 의미한다. 이 유체가 발생하는 파워를 구동력으로 이용하여 마이크로 액추에이터의 기능을 갖도록 하는 기술이 주요 응용목표이다.

□ 이미 전기점성유체(ERF), 자기점성유체(MRF), 전계공역유체(ECF) 등 기능성 유체의 점성제어기술을 개발하여 여러 종류의 마이크로 액추에이터를 비롯, 마이크로 밸브, 마이크로 펌프 등의 개발과 응용연구 성과가 일부 실용화되는 단계에 있다.

□ 이러한 기능성 유체가 갖는 파워를 이용한 마이크로 액추에이터 기술은 앞으로 마이크로 팩토리, 마이크로 플랜트, 파이프 내부에서의 마이크로 머신 구동, 마이크로 모션 제어, DNA 분석시스템인 μ-TAS, 미세한 외과수술 등의 구동디바이스 개발로 광범위하게 확대 응용될 것으로 기대되고 있다. 마이크로시스템기술에 대한 관심이 고조되고 있는 국내현실을 고려할 때 관계연구진의 적극적인 관심과 대응이 필요한 기술분야이다.

저자

YOKOTA Shinichi; YOSHIDA Kazuhiro

자료유형

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2003

권(호)

42(12)

잡지명

계측과 제어(E109)

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

992~997

분석자

박*선

분석물

• 유체 마이크로 액추에이터.pdf [211,756 byte]

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